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硕士论文 点光源阵列多重波面自由曲面检测系统设计与研究
目 录
摘 要………………………………………………………………………………………………。I
Abstract…．……………………………………………………………．．．……．……………………．．II
目 录……………………………………………………………………………………………．．III
1 弓I言…………………………………………………………………………………………………1
1．1课题背景……………………………………………………………………………．1
1．2国内外研究现状……………………………………………………………………．2
1．3本论文主要研究内容………………………………………………………………．4
2光学自由曲面检测技术……………………………………………………。6
2．1反射光栅摄影测量法………………………………………………………………．6
2．2光学计算全息CGH…………………………………………………………………7
2．3多重倾斜波面梯度补偿法…………………………………………………………．8
2．3．1波前梯度补偿基本原理………………………………………………………8
2．3．2点光源阵列多重波面干涉测量系统原理…………………………………．11
2．4本章小结……………………………………………………………………………14
3点光源阵列多重波面干涉系统设计……………………………………．15
3．1干涉仪技术指标……………………………………………………………………15
6
3．2系统基本结构参数分析讨论………………………………………………………1
3．2．1标准镜组焦面处点光源阵列像参数的分析………………………………．18
3．2．2标准镜组基本机构参数的分析讨论………………………………………．20
3．2．3补偿球面镜后光束孔径角的确定…………………………………………．22
3．3考虑干涉容限的点光源阵列参数分析……………………………………………23
3．4系统基本结构计算分析………………………………
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