ULSI中互连的电学和热学特性的建模及其模拟.pdf

f—r 0468871 摘 要 提出了将模拟电荷法用于计算多导体互连电容矩阵的一种新的算法，该算法 与已有的用于互连电秘E竖提取的算法f如有限差分法、有限元法)相比，计算 速度快、通用性高，在算法的实现中，采用DFP优化算法加速了计算过程中的收 敛性，基于此算法，开发了用于多导体互连电容参数提取的通用程序。 推导出了任意频率下具有矩形横截面的三维的ULSI互i墼堑々自感以及两根 相等或不等长度的平行互连线的互感公式。利用上述公式可以计算任意垂直或平 行互连线结构的互感和总电感，物理意义明确，得出的计算值与数值模拟软件 FASTHENRY的模拟结果相比，偏差小于5％。 改进了AWE法(逝垫达受焦焦迭)并用它来模拟!坚墨垄垒鳌：用AwE法的 模拟结果来确定一根互连导线的最坏务件延迟时间和过冲以及两根耦合互连导 线问的窜扰。这些新的模拟结果增强了对GsI多层互连网络的电感效应的理解和 优化设计。 提出了一个计算互连系统热特性的准二维解析模型，用ANSYS模拟结果作了 比较，符合很好。(ANsYs墼焦垂塾丝结果还表明夕ANsys数值模拟结果表明：低K 介质的引入将导致互连温度的增加，最大直流电流密度的减小。倩频交流信号线 上的温度增加不超过2o℃。在引线最疏的互连层上的长全局总奴的温度升高最 大，可用插入金属条的方法可缓解温度的升高。夕矿。 Abstract Anew is introducedwhichusessimulatedmethodfor algorithm charge ofmulti—conductorinterconnectionmatrixThis is computation capacitance algorithm fasterandmoreuniversal withother forextractionof compared algorithms interconnection asfinitedifferencemethod matrix(such andfinite—element capacitance method)In ofthe is to implementationalgorithm，DFPoptimization algorithm adopted ofthecalculation．Auniversal on basedthis is speedupconvergence program algorithm forextractionofmulti—conductorinterconnection developed capacitance parameter Asetofthree—dimensionalclosed-formformulasof