电子束辐照高分子薄膜制备微孔阵列模板的研究.pdfVIP

上渔太堂亟±些业i盒交 摘 要 本文研究了一种电子束辐照高分子薄膜制备微孔阵列模板的方法。我们通 过机械钻孔或激光打孔法制备多孔铅掩膜，用电子束辐照覆盖有多孔铅掩膜的 K2Cr207的混合液)蚀刻辐照高分子薄膜，利用辐照和未辐照高分子薄膜化学蚀 刻速率的差别，在薄膜被辐照的区域产生孔隙，复制出与铅掩膜孔径一致的有 序多孔PET、PP模板，孔径为1209mo 实验经公式计算，确定掩膜以及掩膜的厚度、辐照距离以及高分子薄膜厚 度等工艺参数。 实验分别以PET和PP薄膜为原材料，采用不同辐照剂量直接进行辐照， 以及碱液(NaOH)中蚀刻，讨论了辐照剂量、蚀刻时间以及蚀刻温度、浓硫酸 浓度以及重铬酸钾浓度等因素对薄膜蚀刻的影响。 本文利用乌氏粘度计以及凝胶渗析色谱(GPC)研究高分子薄膜分子量随 辐照剂量的变化。结果表明：在一定辐照剂量范围内，PET和PP经电子束辐 照，分子链发生裂解，PET和PP的分子量随辐照剂量的增大而降低。并采用 差示扫描量热仪(DSC)进行热分析，表征其热力学性能随辐照剂量的变化； 采用x射线衍射仪(XRD)测量结晶聚合物的结晶度随辐照剂量的变化情况， 并与DSC热分析仪测试的结晶度变化进行对照；采用瓜光谱仪测量薄膜经电 子束辐照后分子链的变化情况；IR、XRD以及DSC测量结果表明：材料的结 晶度和熔点随着辐照剂量的增大而降低。辐照导致化学键的断裂、非晶化转变， 这也是导致辐照PET、PP薄膜蚀刻失重率增加的原因，所以PET和PP薄膜是 适合进行电子束蚀刻研究的。通过电子拉力机、原子力显微镜、光学显微镜等 仪器对制备的高分子微孔阵列膜的力学性能、表面形貌、图案形貌及孔径大小 进行了相关的表征测试。 同时我们通过后续研究证实高分子分子量的下降有利于对高分子薄膜的蚀 刻。辐照PET和PP分子量随辐照剂量的增加而减少，说明在此辐照剂量范围 内，发生了辐射裂解，导致薄膜分子量变小。随着辐照剂量、蚀刻温度和蚀刻 时间的增加，PET基膜更容易被蚀刻。 实验将有阵列微孔的铅掩膜(金属)覆盖在PET和PP膜上，在电子束下 其孔径大小与掩膜的孔径大小基本一致。 关键词：聚酯(PET)；聚丙烯(PP)；’电子加速器辐照；蚀刻；掩膜；微 孔阵列 Ⅱ ABSTRACT In onPETandPPmembraneswere this array successfully paper,micro-porous electron-beamirradiatedwhichwe她coveredwith then preparedby mask,and etchedoxidation and ofthe solution(H2S04K2Cr207)．The by aperturep他pared wasabout1 membranes 209m． Thethicknessofmask irradiationdistanceandthethicknessof membrane，the macromolecularmembranescanbecalculatedthemethodofformula． by werg Inthe andPPmembranesusedas irradiated experi