高纯亚微米氮化硅粉体研磨技术.pdfVIP

高纯亚微米氮化硅粉体 研磨技术 LOGO 目录 概述 认识氮化硅粉体 氮化硅粉体的研磨 湿法研磨对氮化硅粉体质量的影响 干法研磨氮化硅粉体存在的问题 氮化硅粉体研磨技术发展的方向 解决方案 概述 21世纪是高新技术产业快速发展和传统产业 技术不断进步的世纪，对于基础原材料的要 求越来越高，粒度越来越细细、材质更纯。 对于材料工业的技术创新、研制更高性能的 基础和功能材料将对我国未来经济发展起到 重要作用。 材料的精细化就是提高材料功效的最有效、 最直接和最重要手段。 概述 氮化硅陶瓷是一种高热导率、低热膨胀系数、耐高温、高强 度的陶瓷材料。 氮化硅粉体是现代工业应用非常广泛的基础材料之一，是氮 化硅陶瓷制造的基本材料。  随着现代工业新技术的发展，各行业对于氮化硅粉体的要求 越来越高，产品粒度要求在亚微米范围内；铁、铝、钙根据 不同用途要求也更低；氧含量甚至要求高到了1%；粒度范 围要求越来越窄，因此氮化硅粉体研磨和分级技术已成为氮 化硅粉体材料扩大生产和应用的瓶颈。 认识氮化硅粉体 氮化硅（Si N ）存在有3种结晶结构，分别是α、β和γ三 3 4 相。α和β两相是（Si N ）最常出现的型式，且可以在常 3 4 压下制备。γ相只有在高压及高温下，才能合成得到，它 的硬度可达到35GPa。 α 型 β 型 γ 型 认识氮化硅粉体  氮化硅通常用常压氮化法完成氮化硅的合成。  下图为采用常压氮化法合成的氮化硅产品及其设备。 认识氮化硅粉体  SHS法合成氮化硅越来越被人们重视。  下图为采用SHS法合成的氮化硅产品及其设备。 认识氮化硅粉体 氮化硅粉体还有以下几种合成方法： 等离子合成 微波合成 激光合成 流化床合成 复合方法合成 氮化硅粉体的研磨  采用上标题所提到的生产方法所获得的氮化硅粉块并不能直接应用在 工业中，要经过粉碎、研磨等处理后才能成为符合各行业使用要求的 氮化硅原料粉体。  氮化硅粉体的研磨方法分为“湿法”和“干法”两种。  湿法研磨一般使用无水乙醇+分散剂+氮化硅球、在高能球磨机中来进 行。  干法研磨可以使用高能球磨机或气流磨进行研磨。 湿法研磨对氮化硅粉体质量的影响 氮化硅表面在潮湿环境下可以与氧发生化学反应 Si N + 6H O = 3SiO + 4NH ； 3 4 2 2 3 虽然进行非常缓慢，但是会影响产品质量。 氮化硅粉体在机械力的作用下，由于能量推动作用，上述 的反应会加快。 无水乙醇具有吸水性，用反复使用的无水乙醇进行氮化硅 粉体的研磨，就会使研磨出的氮化硅粉体含氧量增大。 干法研磨氮化硅粉体存在的问题 氮化硅的干法研磨目前还不是氮化硅粉体研磨的主流 技术，但是，随着技术的进步和现代工业对于氮化硅 粉体技术要求的提高，干法研磨技术将逐步引导这个 行业的发展。 气流磨的研磨下限达不到亚微米的技术水平。 高能球磨的粒度范围较宽，而且不能连续化生产。  目前的离心分级和射流分级的下线还达不到亚微米。 布袋收集方法影响粉体的纯度。 氮化硅粉体研磨技术发展的方向 高能研磨将成为氮化硅粉体研磨的主流。 高能研磨主要以搅拌磨、振动磨和行星磨为主。 复合分级技术将在未来解决亚微米粉体分级难题。 复合分级是重力分级，附壁效应分级，惯性分级，离心分 级，迅速分级，减压分级，静电分级等几项分级原理的集 成，将会成为亚微米分级的主流技术。 无袋收集技术将成为高纯氮化硅粉体技术发展方向。