椭偏法侧薄膜后的和折射率论文.doc

椭偏法侧薄膜后的和折射率 云南大学 刘海达 摘要：利用偏振光束在界面或薄膜上的反射或透射时出现的偏振变换，平面偏振光通过四分之一波片，使得具有±π/4相位差，使入射光的振动平面和四分之一波片的主截面成45°。将四分之一波片置于其快轴方向f与x方向的夹角α为π/4的方位，E0为通过起偏器后的电矢量，P为E0与x方向间的夹角。，通过四分之一波片后，E0沿快轴的分量与沿慢轴的分量比较，相位上超前π/2。 在x轴、y轴上的分量为： 由于x轴在入射面内，而y轴与入射面垂直，故Ex就是Eip，Ey就是Eis。 图 1-3 由此可见，当α=π/4时，入射光的两分量的振幅均为E0 / √2，它们之间的相位差为2P-π/2，改变P的数值可得到相位差连续可变的等幅椭圆偏振光。这一结果写成： 椭偏仪，调整，原理，改进 椭偏仪调整 三、仪器的校正仪器出厂前均已调好，满足设计要求，但由于长期使用或运输中的振动可能造成仪器上的各部分位置关系稍有变动。为保证仪器精度需重新调整，步骤如下：注意：在以下所提到的光路调整中不要用眼睛直接观察激光束，需要观察光强时请用白屏（或白纸等）挡住光束，观察白屏上反射光点的亮度。打开主机开关，正对仪器时右手为光源侧，左手为接收侧，使光源侧的游标零点对准大刻度盘的90°位置，当：1． 光源侧无光线射出或射出的光强太弱请将光源侧的遮光套管推回并将偏振挡光罩取下，将此侧光栏摘下，并将调整装置插入调整孔，如果光束不能通过两个调整装置上的孔则需将光源侧的挡光罩摘下，松开反射镜固定螺丝，调节反射镜的角度，直到激光束可垂直通过两个调整装置上的孔，并且强度无明显减弱，说明光束方向正确，在此步骤中尽量只调整上侧的棱镜，当此棱镜调节无法使光线方向正确则需先取下此棱镜，将调整装置2装入棱镜下方的圆孔内，调整下侧的棱镜，使光束穿过此装置的两个孔，调整完成后取下调整装置2，再将上侧的棱镜装上，并调整位置使光束通过两个调整装置上的孔，调好后可取下调整装置，将光栏调整到适当位置后锁紧，盖上先前取下的挡光罩，再将偏振挡光罩扣好，则光源侧的光路调整完成；2． 当光点偏出接收侧的光栏孔时需要将遮光套管推回并取下接收侧的偏振挡光罩，将光栏座松开并调整到光点通过光栏的中心；3． 当光点可以通过接收侧的光栏孔时可直接装上调整光栏，观察光束是否也能通过调整光栏，如不能则要先摘下固定立板，观察光束能否打入接收器遮光管的中心，如不能就要调整接收器的角度，之后再装上固定立板并调整好角度，使光束通过调整光栏；4． 将光源侧和接收侧的游标零点各对准大刻度盘的70°位置，在样品台上放置随机携带的样品，使反射光点通过接收光栏及调整光栏，如果光点偏出接收光栏，则要调整样品台下方的调节手钮，使光点射入接收光栏及调整光栏，并锁紧样品台，取下调整光栏，装上接收侧的偏振挡光罩；5． 再将光源侧及接收侧的游标零点各对准大刻度盘的90°位置，进入自动椭偏仪软件操作窗口，点击“控制”菜单下的“校正”，打开校正窗口，点击窗口中的“放置1/4波片”按键，继续点击“校正1/4波片”仪器会自动校正光路中元件的相对角度位置，校正后退出此窗口，此步骤完成之后对任意样品测量时光路及样品台都无需再调整。10米）的薄膜，其厚度的精确测量。椭偏法有着很高的精确度（比一般的干涉法高一至二个数量级）和灵敏度，它的误差范围低于纳米级。但是因为数学上的困难，直到上个世纪五六十年代计算机出现以后椭偏法才真正发展起来。除了测量薄膜的厚度和折射率，椭偏法广泛应用于各个领域，如测定金属的复折射率和材料的吸收系数等光学上的应用，以及在半导体，化学，生物和医学等。 这里简单由实验原理推导， 先把最终的公式列出 对于本实验，所用仪器是让波长单一的单色光经起偏器后变为线偏振光，使之通过1/4的波片同时让快轴与线偏振光的偏振方向呈45度，以获得椭圆偏振光，在镀膜的样品上发生反射后再经检偏器观察投射到探测器上的光强。这样在不断调整起偏器和检偏器的方向可得消光，至此利用一系列的公式可得厚度和折射率。（仪器如图1） 公式推导： 主要讨论在薄膜上反射的光学原理，（如右图2角度和折射率、字母已标出） 只需要将薄膜入射光（椭偏光）和反射光（所得线偏光）中p波和s波的振幅变化关系找出即可。把薄膜和衬底作为一个整体的光学元件可以看到反射的情况。 由折射定律有，其中=1（空气）。考虑两束相邻的反射光，其光程差（****此处是否有/2的相位差取决于和的关系，具体说就是所测量薄膜及其衬底折射率的关系****）因为 则相位差为………(1) 由多光束干涉的理论易得 ? 其中利用到菲涅尔公式和斯托克斯定律（从略） 有这样的定义椭偏参量(和(，