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公平、团队、创新、细节 英文标题:20-30pt 字体 : Arial 中文标题:20-30pt 字体 : 黑体加粗 英文正文:18-20pt 子目录（2-3级）:16pt 字体 : Arial 中文正文:18-20pt 子目录（2-5级）:14-20pt 字体 : 黑体 颜色1:R0 G0 B0 颜色2:R208 G19 B25 颜色3:R128 G14 B30 颜色4:R124 G124 B124 颜色5:R234 G87 B3 Company Confidential ASK 研发部-盛佳 2014.07.31 内层课-学习报告 工号：1401161 审核-张震 * 目录 学习内容介绍 1，内层各段工序上机实操，产线结构与保养； 2，内层工艺参数控制及各项测试； 3，内层工序问题的分析与异常处理。 学习心得 1，多看，多问，多做，多想； 2，劳其筋骨只是吃苦的表面，磨其心志方才是吃苦的精髓； 下一站学习计划 1，了解压合全流程与各段工艺参数控制范围以及各类机台的操作； 2,掌握压合的各类测试，学会对压合产生的不良进行分析与处理。 * 内层整体流程简示图 前处理 涂布线 曝光房 DES AOI 内层 * 内层各段重点理解目标 前处理重点掌握 涂布线重点掌握 曝光房重点掌握 AOI工作站重点掌握 DES重点掌握 微蚀因子，微蚀速率 磨机酸洗，缸体结构 产量控制，异常处理 涂机操作，厚度测量 刮刀压力，涂布压力 粘度测试，拉力测试 图形转移，层间对位 能尺测试，能均测试 涨缩管控，不良处理 显影蚀刻，因素控制 显影点，蚀刻均匀性 不良板的分析与处理 扫描检修，CCD打孔 不良点分析与处理 第一讲 内层前处理 前处理 #1 #2 磨机 加压水洗 检查 微蚀1 溢流水洗 清水洗 磨机 水刀洗 检查 微蚀1 微蚀2 溢流水洗 酸洗 微蚀2 溢流水洗 酸洗 溢流水洗 DI水洗 溢流水洗 DI水洗 干板组合 干板组合 * 前处理工艺参数控制 序号 流程工艺 参数范围 工具方法与目的 1， 磨刷电流 2.5-4.5A 调压 2， 磨痕 8-12mm 钢直尺 3， 输送速度 4.0±1.0m/min 控速 4， 水洗喷淋压力 2.0±0.5kg/cm2 冲洗铜粉与赃物 5， 微蚀温度 35±5℃ 控制微蚀条件 6， 微蚀速率 0.5-1.5um 10000(W1-W2)/(8.92×2×S×t） 7， 微蚀浓度 1-3% H2SO4,H2O2 化学实验室 8， 酸洗浓度 H2SO4:4±1% 去除氧化物 9， 烘干溫度 90±5℃ 清除水渍 10， 水破试验 ≥15 s 表面粗化均匀性 * 内层前处理实物图析 前处理重点 第二讲：内层涂布线 涂布线 #1 #2 中心定位 粘尘切割 升降机 涂布机 五段烤箱 中心定位 粘尘切割 升降机 涂布机 六段烤箱 冷却段 冷却段 粘尘切割 出板 粘尘切割 出板 暂存 暂存 * 涂布线工艺参数控制 序号 工序工艺 参数范围 影响 1， 涂布轮速度 8±2m/min 涂膜厚度 2， 刮刀压力 0.1-0.35Mpa 涂膜厚度 3， 涂布压力 0.1-2.0 mm 涂膜厚度，涂布均匀性 4， 油墨粘度 100±20S 涂膜厚度 5， 涂膜厚度 8-12um 9点法用油墨厚度仪测量 6， 曝光后晾板 15-720min 油墨冷却完全 7， 烘烤温度 1—5段：100±5℃；115±5℃；115±5℃；115±5℃；5段： 90±5℃（二号线为6段：5段115±5℃、6段90±5℃） 温度缓冲 8， 稀释剂添加量 350±50ml/桶 * 内层涂布线实物图析 * 第三讲：曝光房 * 曝光房工艺参数控制 序号 工序工艺 参数范围 1， 曝光能量 5MIL/5MIL以下 5-7格5MIL/5MIL上（含）6-8格 用21格能量尺测量 2， 曝光灯寿命 ≤1500H 3， 台面真空 上、下框：-350±100mmHG（川宝）；300 ～ -450mmHG（多普） 4， 曝光能量均匀性 大机台≥80%、小机台≥85% 测9点，Min/Max 5， 层间对准度 50um 6， 光源 7KW 7， 菲林涨缩 ≤50um 一次元菲林检测机 8， 生产时菲林偏差 ≤30um 9， 黑菲林使用次数 2000±100次 10， 环境控制 洁净等级10k T18-24℃ S50-60% * 内层曝光房实物图析 曝光房