非球面加工与检测.pdf

非球面加工与检测技术 郭 培 基 苏州大学现代光学技术研究所 1 主要内容 非球面概述 非球面加工 非球面检测 大口径非球面反射镜在空间和天文上的应用 苏州大学的工作 2 一、非球面概述 广义非球面：不能用球面定义描述的面形（即不 能用一个半径确定的面形），其中有旋转对称的 非球面和非旋转对称的非球面；有关于轴对称的 面形；有排列有规律的微结构阵列；有包含衍射 结构的光学表面；还包含形状各异的自由曲面。 3 一、非球面概述 狭义的非球面主要指是旋转对称的非球面，能够 用含有非球面系数的高次多项式来表示，其中心 到边缘的曲率半径连续发生变化。 离轴非球面是旋转对称非球面的一部分，但 其所在部分的中心轴与旋转对称轴有偏离。 4 一、非球面概述 狭义非球面一般写成以下形式： 2 cr 4 6 8 z +a r +a r +a r +... 2 2 1/ 2 1 2 3 1+[1−(k +1)c r ] Z 轴为非球面的旋转对称轴即光轴，坐标原点取在顶点 2 2 2 其中： ； 顶点曲率 c ；二次曲面常数 k ； r x =+y a 、a 、a 、… 为高次项系数。 1 2 3 5 一、非球面概述 当高次项系数都为零时，上式只有第一 项，为常用二次曲面 k 0 扁圆(也称扁椭圆) k 0 圆 k −1 椭球面 −1k 0 抛物面 k −1 双曲面 6 一、非球面概述 球面透镜 非球面透镜 光学系统应用非球面可易于校正除场曲外的各种单色像 差。如：在光阑附近使用可校正各带的高级球差，在像面 前或离光阑较远的位置使用可校正像散和畸变。 7 一、非球面概述 系统中采用非球面，可简化系统结构、 提 高系统性能(如相对孔径、视场角、光照均匀 性、成像质量等)。 17世纪，非球面就应用于反射望远系统中