磁驱动微执行器的模拟和CAD分析.pdf

摘坚 摘 要 本文主要研究一种MEMS器件一一多层弯曲磁芯结构磁驱动微 执行器的计算机模拟。尽管MEMS近年来得到了广泛的研究，但对 于微执行器的关注仍然不如微传感器。本文首先综述了几种常见的磁 驱动微执行器工作原理，并比较了各自的特点。然后，选择其中一种 一一多层弯曲磁芯结构一～在文中进行了模拟。首先建立了该结构的 磁路定律和等效磁荷的解析模型。这个模型综合考虑了上下极板之间 的边缘效应，因此较基于能量的模型精确，但方程也复杂一些。在 MEMS CAD软件中，对于基本的各个器件需要精确的分析结果，才 能保证器件设计的合理性和准确性，这时就需要各个器件的数值分析 模型。)本文针对于多层弯曲磁芯结构磁微执行器有限元模型进行了分 析。介绍了电磁分析中的有限元分析方法的一些理论并且根据这些理 论建立结构的有限元模型，对模型进行模拟。为了比较这个模型的精 确程度，我们将它与解析模型的计算结果、实验测试结果和ANSYS 分析结果进行比较，表明这个模型的计算结果与实验结果非常接近， 这个模型比较准确的模拟了器件工作状态。．最后一部分是软件编程， 包括多层弯曲磁芯结构驱动微执行器模拟程序的结构、器件模拟软件