射频磁控溅射法备CeOlt;,2gt;-TiOlt;,2gt;SnOlt;,2gt;：Sb截止紫外线和透明导电双功能薄膜.pdfVIP

摘 要 Ce02一Ti02薄膜具有高折射率和优异的截止紫外线性能，同时Sn02：Sb 薄膜具有良好的导电性和光学特性。综合这两种薄膜的性能，在玻璃上用 射频磁控溅射工艺制备具有截止紫外线和透明导电双功能复合薄膜，这是 本论文的独特和创新之处。 靶材．用射频磁控溅射工艺在玻璃基片上沉积了一系列Ce02．Ti02薄膜、 膜在不同物质的量浓度比(Ce／Ti)下对截止紫外线性能的影响；比较了 和反射红外线的效果。利用现代测试分析方法对薄膜的结构与性能进行了 研究，得出如下结论： 薄膜呈现无定形非晶结构，对紫外线截止的效果最佳；XPS分析表明，薄 膜表面上存在Ti4十、Ce3+和Ce4+；TEM分析表明，薄膜由三个相组成，分 别是Ce02(CaF2类型)，Ti02(金红石)和过渡相CeOI6·2Ti02。在薄膜 的生成过程中优先生成Ti02和Ce02相。而不是CeOl6·2Ti02相。 和可见光透过率(75％)，方块电阻在70～90f2／口之间，电阻率在3，2～ 3．6×10。3Q．cm之间。 3)无论Ce02．Ti02薄膜在内层还是在外层，双层薄膜可见光透过率都 可达到75％以上，截止紫外线达到99％以上。从红外反射率来看：波数 薄膜在基本上不影响玻璃透射可见光的前提下，增加了截止紫外线、透明 导电(反射红外线)双功能。 关键词：Ce02．Ti02／Sn02：Sb薄膜，截止紫外线／透明导电玻璃 射频磁控溅射 Abstract filmshave reflectiveindex Ce02一Ti02 high andexcellent shielding．-Ultra violet wellas filmshave Sn02：Sb properties，as goodelectric—conductivity andexcellent these optical properties．Consideringgoodproperties．the functionalfilms double on substrates depositedglass byradio—frequency(R．F) show and conduction， magnetronsputteringultraviolet—shieldingtransparent whichisthe andcreativeideainthe research． unique experimental Inthe anda seriesof Ce02一Ti02 thesis，Sn02：Sb(6％m01)targets targets withdifferentmolarratioof to were films Ce02Ti02 prepared．CeQ—Ti02 and were on substratesR，F Sn02：Sb(6％t001)filmsdepositedglass by thesame magnetronsputtering．In and f