碳含量对磁控溅crc镀层性能的影响.pdfVIP

摘要 论文题目：碳含量对磁控溅射Cr／C镀层性能的影响 学科专业：材料科学与工程 研究生：苏阳 签名： 指导教师：蒋百灵教授一， 签名： 摘要 本文采用磁控溅射技术以溅射石墨靶作为碳元素主要来源的方法在高速钢和单晶硅 基体上制备了Cr／C镀层。采用XPS及XRD对镀层的化学成分和微观结构进行了分析； 使用显微硬度计、划痕仪等对镀层的硬度、韧性和结合强度等力学性能进行了研究；通过 销一盘式摩擦磨损试验机及光学显微镜研究了镀层的摩擦磨损性能；采用不同温度热处理 及电化学极化曲线评价了镀层的热稳定性和耐蚀性；探讨了碳含量变化对镀层性能的影响 机理。 研究结果表明：Cr／C镀层主要由铬、碳单质和Cr3C2组成。随着碳含量的增加，镀层 中碳单质增加，铬单质减少，铬碳化合物则在碳含量为51．93at％时含量最多。纯cr镀层 为晶态结构，加入碳元素后，镀层发生了晶态一非晶态转变；随碳含量增加，Cr／C镀层 at％的镀层外，其他Cr／C镀层均表现出较好 硬度上升，韧性下降，除碳含量为17．45 at％，51．93 的结合强度，碳含量为42．37 at％表现出较好的综合力学性能；镀层的摩擦 系数和磨损率随碳含量升高而降低，镀层的磨损机制则发生了粘着磨损一磨粒磨损的 at％时， 转化；Cr／C镀层在600℃热处理后表现出较好的热稳定性，但当碳含量增至75．08 镀层在该温度下剥落失效；Cr／C镀层在lmol／LNaCI溶液有效地保护了基体免受腐蚀， 碳含量17．45at％的镀层具有最优的耐蚀性，纯Cr层次之，其他镀层随着碳含量增加，耐 蚀性变差。 不同碳含量Cr／C镀层中铬、碳存在形式的变化影响了磨损初期粘着层形成及粘着层 与镀层结合强度，造成了镀层摩擦系数和磨损率的变化；碳化物减缓镀层氧化进程但碳元 素高温氧化加快镀层的疏松失效过程，两反应相互竞争，导致了碳含量增加后的Cr／C镀 层热稳定性提高，而增至一定含量后镀层过早失效。镀层晶体结构及钝化膜的不同是造成 镀层耐蚀性差异的主要原因。 关键词：Cr／C镀层；微观组织；摩擦磨损性能：热稳定性；耐蚀性 Abstract EFFECTOFCARBONCONTENTONPROPERTIESOF Title： MAGNETRONSPUTTEREDCr，CCOATINGS and Science Major：MaterialEngineering Su Name．-Yang Signature：2色颦垒 JIANG Supervisor=Prof．BailingSignature： Abstract Cr／C were on steelandsiliconwaferssubstrates coatingsdepositedhigllspeed byMagnetron asthe sourc宅forcarbonelement．The sputtering,usingsputteringgraphitetarget mainly chemical the were XPSandXRD． andmicrostructuresof coatingsanaly