基于椭圆运动方式的小工具抛光去除函数.pdfVIP

第38卷 第3期 激 光 技 术 VoI．38．No．3 2014年5月 LASER TECHN0L0GY May，2014 文章编号：1001—3806(2014)03—0406—05 基于椭圆运动方式的小工具抛光去除函数 刘猛猛，洪 鹰 (天津大学 机械工程学院，天津 300072) 摘要：为了改进传统的小工具抛光的去除函数的特性和提高去除效率，在行星和平转动抛光方式的基础上， 通过三转子机构 ，实现了椭圆式运动方式；以Preston理论为基础 ，研究并推导了在这种运动方式下的材料去除函 数；通过计算机模拟得到了去除函数的面形矩阵，经过优化后获得了最终的抛光参量，得到了与理想的高斯型函数 吻合程度高的去除函数。结果表明，仿真加工后，其去除效率优于行星式去除函数。基于椭圆运动方式的小工具 抛光避免了行星和平转动抛光方式去除函数存在的缺陷，有助于提高抛光过程的去除效率。 关键词：光学制造；去除函数；椭圆运动；仿真加工 中图分类号：0439 文献标志码：A doi：10．75lO／j~s．issn．1001—3806．2014．03．027 Removalfunction ofsmalltoolpolishbasedon ellipsemotion LIUMengmeng，HONG (SchoolofMechanicalEngineering，TianjinUniversity，Tianjin300072，China) Abstract：Inordertoimprovetheprope~yand the efficiencyoftraditionalremovalfunctionofsmalltoo]polish， ellipsemotionmethodwasachievedthroughthree—rotormovementonthebasisofplanetmotion．Then，anew removal functionwasinvestigatedanddeducedbasedontheassumptionofPreston．Atlast，thesurfacematrixofremoval function wascalculatedbycomputerandafteroptimization．Thefinalparametersandtheremovalfunctionwhichwasclosetothe idealGaussianfunctionwereobtained．Th eresultsshow theremovalefficiencyofellipsemotioniSbetterthanplanetary removal’S．Removalfunctionbasedonellipsemotioncanavoidthedefectofpreviousfunctionofplanetmotionandincrease theremovalefficiencyduringpolishingprocess． Keywords：opticalfabrication；removalfunction；ellipsemotion；simulatedprocess 过于陡峭。而这些缺陷难以通过调整其运动参量而 引 言 加以改善，以至于小工具抛光技术在光学元件加工 随着激光技术的发展，对高精度大 口径光学元 领域的应用受限，发展缓慢 。通过改变抛光盘的形 件需求不断加大…。计算机控制表面成型技术在 状是改善这种现状的一种方式 ，但受限于加工条 高精度光学元件，特别是