极端环境下压力传感器的研究进展.pdfVIP

第 36卷第 4期 国 防 科 技 Vo1．36．No．4 20l5年 8月 NATIONALDEFENSESCIENCETECHNOLOGY Aug．2015 极端环境下压力传感器的研究进展 周 剑 ，侯 占强，肖定邦 (国防科学技术大学机电工程与 自动化学院，湖南 长沙 410073) 摘【 要】 极端环境下压力传感器在喷气发动机、火箭、导弹、卫星等国防军工领域有着广阔的应用前景。首先对 国内外可应用于极端环境压力传感器的关键技术：SOI制造技术、溅射薄膜技术、金刚石薄膜技术、声表面波无线无 源传感技术、SiC高温压力传感技术及其应用情况做回顾论述 ．并针对各 自的主要优缺点进行对 比分析和讨论。最后 展望 了极端环境压力传感器的发展趋势。 关【键词1 极端环境；高温；压力传感 【申图分类号]TP212．1 文【献标识码】A 文【章编号]1671-4547(2015)04—0015—05 DOl：10．139436．issn1671-4547．2015．40．04 力传感器工艺成熟 、体积小、性能好 ，但是在超过 一 、 引 言 120~C环境使用时，内部P—n结会产生漏 电，传感 器性能会严重恶化以至失效。另外 ．Si材料在大于 极端环境是指高温 、强辐射 、高振动或具有氧 500~C时还会发生严重的塑性变形 ，不能满足高温 化和腐蚀性特点的环境 ，典型的情况是高温高压 等极端环境下压力测量的需求。为此 ，人们开始研 环境。极端环境下压力传感器在国防军工领域有 究其他更加优 良耐高温等抗极端环境的材料 。近 着广阔的应用前景。具体地说 ，可用于宇宙飞船和 年来 ，传感器领域中的许多学者对极端环境压力 航天飞行器的姿态控制 ，高速飞行器或远程超高 传感器做 了大量工作，并涌现出不少研究成果 ． 速导弹的飞行控制，喷气发动机 、火箭 、导弹、卫星 以期满足当前对极端环境下压力测量 的迫切要 等耐热腔体和表面各部分的压力测量。比如 ，水下 求。文中对 国内外具有主导影响的几类极端环境 探测装置的压力敏感组件用于测量探测装置动力 下的压力传感器的研究进展、关键技术及应用情 组件工作时燃油压力和海水泵出口压力．位于涡 况做 了回顾论述 ．并针对各 自的主要优缺点进行 轮发动机 内部的压力传感器需要检测表面的压力 了对比分析和讨论 ，最后展望 了高温极端压力传 差和温度梯度 。在飞行器的发动机中，由于气流接 感器 的发展趋势 。 触到 了燃烧室．因而气压的检测有助于控制气体 和燃料的混合物 以降低飞行器失控 的风险。这就 二、极端环境下压力传感器 的关键技术 需要一个能在不稳定 的并且温度范 围在 600~C～ 和研究现状 l800℃的气流环境中工作的传感器 。而脉冲爆震 发动机燃烧室内部的压力测试需要在 IO00~C以上 (一)SOI制造技术 环境下进行。 绝缘体上硅 (SilicononInsulator，sou结构如 目前，压力传感器主要以扩散硅 (Si)压力传感 图 l所示。衬底硅作为机械支撑 (厚度约为几百微 器为主 ．在 IO0~C工作温度范围内。商业化的Si压 米)，表面单晶硅用于制造器件 (厚度llxm)。中间 收【稿 日期】 2015-08-08 作【者简介】 周 剑，男，讲师，博士，研究方向：