YBCO超导薄备工艺.pdfVIP

摘要 摘 要 高温超导薄膜是超导电子学器件的基础，用高温超导薄膜制各 的微波无源器件以及SQUID器件等具有常规材料无法比拟的优势。 YBCO薄膜材料是超导电子学器件重要材料。高质量的YBCO薄膜 有赖于对工艺的精确控制，因此系统研究制备工艺参数对薄膜结构和 性能的影响非常重要。 本论文采用中空圆柱靶直流磁控溅射装置，在优化的基片温度和 了高性能的YBCO超导薄膜。溅射气体组分工艺研究的结果表明：02 量固定时，Ar气量较高或较低时薄膜内出现BaCu02第二相，其c轴 长度较理想长度略小，薄膜内存在晶体结构无序。Tc和Jc测量结果 表明薄膜内部晶体结构无序的直接恶化了超导薄膜的输运能力。通过 BaCu02第--*N，降低薄膜结构的无序程度和提高超导性能 XRD分析表明在时含量固定时，溅射气体中02含量较高时， 薄膜c轴长度小于理想值11．68 A，这个事实间接支持了J．Geerk的推 断，即C轴长度的减小是由于薄膜中的O过量(7-67)造成的。Tc对 溅射气体中02含量变化敏感程度不如对心含量敏感。SEM、AFM 分析的结果显示低02含量下薄膜表明存在较多的口轴取向颗粒，而 高0：含量下样品表面的颗粒数量明显减少，说明高02含量有助于改 善样品表面形貌。 摘要 本文还研究了溅射电流(Is)对YBCO薄膜表面形貌、晶体结构 和电性能的影响。通过沉积温度影响的研究证实了富cu颗粒的生长 遵从薄膜生长的俘获模型。富Cu颗粒对薄膜的覆盖度随Is的降低而 降低。同时Is较高时薄膜表面存在较多的a轴取向晶粒，Is较低时 薄膜表面a轴取向晶粒明显减少。AFM微区分析显示Is较高时薄膜 呈现岛状生长模式，而Is较低情况下薄膜表面出现周期性台阶，呈 现台阶流动的逐层生长模式。XRD分析发现薄膜的C轴长度和(006) 对(005)峰比值随Is增加有所增加，说明薄膜内部结构无序度增大。 当Is为1．25A时，可以获得最佳Tc和Jc性能的YBCO薄膜。 SNMS成分深度剖析技术研究结果表明：薄膜与基片间存在一 个互扩散区，存在扩散反应。这种反应是由于薄膜生长过程中较高的 基片温度造成的。分析双面YBCO超导薄膜发现，第一面表层元素 谱强度随深度逐渐增加，说明第一面的薄膜在沉积第二面时在高温下 表层元素被部分蒸发。 关键词： YBCO超导薄膜，倒筒直流磁控溅射，制备工艺，超导性 能 Abstract basisof filmsarethe superconducting(HTS)thin High—temperature and devices devices devices．Passive electronic SQUID superconductor HTS overthose thinfilmshave advantagesadopted using incomparable normal are materialsin thinfilms materials．YBCOimportant are