ZnAlltgt;Olt;,4gt;基低介电常数微波介质陶瓷的结构与性能.pdfVIP

摘 要 综观微波介质陶瓷材料的发展历史和应用前景，结合当前微波介质陶瓷的研究现 状，确定ZnAl O 基陶瓷为本文的研究对象。利用X 射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、 2 4 X 射线能谱(EDS)、X 射线光电子能谱(XPS)、电子探针(EPMA)和网络分析仪等仪器 系统地研究了制备方法(常规固相法和熔盐法) 、烧结工艺、相成分、微观组织结构和 微波介电性能之间的关系。 首先研究了(1-x )ZnAl O -x TiO 材料的烧结特性、相成分和微波介电性能。结果表 2 4 2 明，TiO2 能有效地改善材料的烧结性能和调节材料的谐振频率温度系数，当 x =0.21 时，(1-x )ZnAl O -x TiO 陶瓷具有近零的谐振频率温度系数，体系中包括细小的ZnAl O 2 4 2 2 4 尖晶石晶粒和粗大的金红石相晶粒。在此基础上，系统地研究了(1-x )ZnAl O -x TiO 2 4 2 (x =0.21)材料的预烧温度、烧结温度和升温速率，并确定了最佳工艺参数，它们分别 为1150℃、1500℃和5℃/min ，此时的微波介电性能为：e =11.6 、Qf·=74000GHz、t = r f －0.4ppm/ ℃。 利用熔盐法制备了(1-x )ZnAl O -x TiO 陶瓷，并探索了材料的烧结性能、微观组织 2 4 2 和微波介电性能特点。与常规固相法相比，利用LiCl 和ZnCl 熔盐均能制备出颗粒细 2 小均匀、活性高的(1-x )ZnAl O -x TiO 粉末，并能有效降低材料的烧结温度，但同时也 2 4 2 降低了材料的密度和微波介电性能。当熔盐为 LiCl、预烧温度为 900 ℃时， (1-x )ZnAl O -x TiO (x =0.21) 陶瓷的致密化温度为 1425 ℃，微波介电性能分别降到： 2 4 2 e =10.0 、Qf·=39970GHz、t = －21.2ppm/ ℃。当x =0.25 时，(1-x )ZnAl O -x TiO 陶瓷的 r f 2 4 2 致密化温度降低到1300℃，tf 值被调节到－7.1ppm/ ℃，同时，Qf·值降低到27000GHz， 而e 值变化很小。当熔盐为ZnCl 、预烧温度为900℃时，(1-x )ZnAl O -x TiO (x =0.25) r 2 2 4 2 陶瓷的致密化温度为1350℃，此时材料的微波介电性能为：e =10.0 、Qf·=56440GHz、 r t = －25.4ppm/ ℃。 f 利用 MO(M=Co, Mg, Mn) 和 TiO 共同改性 ZnAl O