半导体微腔窄带滤波器设计.pdf

摘 要 大规模集成是光电子器件的发展方向，密集波分复用技术的发展也对滤波器的带 宽提出了严格的要求，随着这两个技术的发展，半导体微腔窄带滤波器也迅速发展起 来。本文研究的半导体微环窄带滤波器即是微腔窄带滤波器的一种。 文章介绍了微环滤波器的研究进展及实际应用，分析了已有的微环窄带滤波器方 案。 采用微环谐振腔构成窄带滤波器，首先就要了解微环的机制，以及光场在微环中 谐振的过程。为此本文在实现窄带滤波之前，采用时域有限差分法（FDTD ）对无源微 环进行了理论分析，模拟了无源微环滤波器中光场的耦合、传输和谐振过程。通过注 入超短高斯脉冲，分析输入频谱、耦合到微环中的高斯脉冲频谱，得到了耦合系数 κ 的频谱特性曲线；并利用FDTD 方法，通过注入超短高斯脉冲，分析输入、输出频谱， 得到了FDTD 仿真的传输特性曲线。接下来，同样采用时域有限差分法（FDTD ）对有 源微环进行了理论分析，模拟了有源微环滤波器中光场的耦合、传输和谐振过程。通 过注入超短高斯脉冲，分析输入、通路输出和下路输出频谱，得到FDTD 方针的传输 特性曲线，并与无源微环比较。 在了解了微环的滤波原理之后，为实现微环滤波器的窄带滤波，采用传输矩阵法 得到 M ×N 微环阵列的通路和下路传输函数。通过分析对比得出合适后面应用的微环 阵列滤波器行列数，接下来主要采用了两种方式来实现窄带滤波：一是优化微环阵列 滤波器中的耦合系数，通过耦合系数在行列上的高斯分布和最大平坦化分布，大幅度 减小了滤波器的半波带宽；二是在微环中加入增益，从前面比较接近实际的时域有限 差分法分析中，看到在微环中加入增益可以减小半波带宽，因而在前面耦合系数优化 的前提下，再在微环中加入增益介质。最终使微环滤波器的半波带宽达到pm 量级。 关键词：微环 耦合系数 无源 有源 时域有限差分法 1 Abstract Integration is the developing direction of optoelectronic devices, and the development of DWDM technology also calls for narrow bandwidth filter. With the development of these two technologies, semiconductor micro-cavity narrow bandwidth filter is in great need. The micro-ring narrow bandwidth filter is one kind of semiconductor micro-cavity narrow bandwidth filter. This thesis introduces the development of micro-ring filter and its application, and analyses the scheme of other micro-ring filters. To use micro-ring to form narrow bandwidth filter, we should first get to know the scheme of micro-ring, and how light resonate in it. Therefore, based on Finite-Difference Time-Domain method, passive micro-ring is firstly studied. The process of coupling, transmitting and resonating of light field in passive micro-ring is simulated. By injectin