电容式微加速度计的CAD的分析.pdf

摘 要 【微型电子机械系统的研究受到越来越多国家的重视，人民普遍预料微型 机械及微细加工是21世纪重要的新兴产业。将CAD／CAE技术用于微电子机 械产品的设计，能有效地提高新产品的设计效率、降低设计费用、提高产品 质量，这将大大促进微电子机械系统研究的发展。微加速度计因其体积小、 、 可靠性高、价格便宜等，使其在多个领域得到广泛应用和迅速发展。广一V 。一 本文利用有限元分析方法对电容式微加速度计的特性进行了研究，研究 的对象是LIGA工艺制作的电容式微加速度计。根据LIGA工艺的加工特点 提出了平板和梳状结构的两种电容式微加速度计的基本结构，在分析其承载 和结构特点的基础上，建立了微加速度计的有限元分析模型。利用I-DEAS 工程设计分析软件和ANSYS分析软件对结构进行了静动态分析，得到了静 应力、变形、固有频率、振型等相关数据，研究了微加速度诗结构尺寸变化 对固有频率和振型的影响规律。另外，本文还利用ANSYS软件对梳状结构 微加速度计进行了动态特性仿真研究和瞬态响应特性分析，研究了结构的动 态特性与阻尼比的关系。通过上述有限元分析研究，得到了很多有价值的计 算分析结果，为电容式微加速度计的优化设计与应用提供了依据。 关键词：微电子机械系密 电容式微加速度∥cA文cAE 有限元分带7 LIGA Abstract that ItiS Micro an Electro—Mechanical be widelypredicted System(MEMS)will of and 21“centurv moremorecountries importantburgeoningindustry Nowadays theirclose vastscalefundto of attentionand theresearchmicro Pay put machinery andmicro will design machining．CAD／CAEtechnologygreatlyimproveefficiency and ofthe we andreduce the CAD／CAE designexpenses quality products．Ifput intothe of will researchMEMS．it its technology largelypromotedevelopment． As microacceleratorhasbeen and importantcomponents．tlle widelyapplied itS in fieldsbecauseof small andlOW rapidlydevelopedmany