涡轮汽轮发动机叶片等大型工件表面三维形貌测量.pptVIP

雪原PPT工作室 王金栋 3012202020 涡轮、汽轮发动机叶片等大型工件表面三维形貌测量 目录 关于三维形貌测量 三维形貌测量发展现状 常见的几种测量方法 相位扫描技术测量三维形貌 实验结果及误差分析 三维形貌测量的背景现状 背景一 背景二 背景三 经典的几何量 诸如长度、角度、 平面度、直线度 等的测量技术与 检测手段已经日 益成熟。 传统的测量内 容和测量方式已 经不能满足需要。 物体的外形及 外形数据的获取成 为人们在测量领域 一个的重要的研究 方向。 大尺寸的不规则自由曲面、形体形貌的三维测量，如模具外形、涡轮设计、汽轮发动机叶片等，如何快速、高精度地获取大型物体三维表面数据，如粗糙度等成为现代工业发展中一个亟待解决的难题。 发展方向 发展现状 国内外在该方向上作了大量研究，通过在传统的二维触针式轮廓仪基础上增加一维移动，从而实现了三维测量。 国际上最为著名的是英国Rank Taylor Hobson公司，他们推出过一系列比较成熟的产品，并在生产实际中获得了广泛的应用。其代表性的产品是Taylor Scan 3D scanner型具有高速扫描头的表面三维轮廓仪。另外美国ZYGO公司也推出了Dektak series V型接触式表面轮廓仪。接触式测量方法的测量精度较高、量程大、测量结果稳定可靠、重复性好，此外它还可以作为其他形貌测量技术的比对方法。 三维形貌测量的应用 三维形貌测量的应用 几种测量方法 机械探针式测量方法 光学探针式 扫描探针式测量方法 扫描电子显微镜测量方法 位相干涉测量方法 发展现状 方法 优缺点 精度 机械探针式 较大横向和纵向测最范围、接触式测量、易损伤被测表面、测量时间也较长，仪器测量方法价格比较便宜 纵向分辨率0．1nm 横向分辨率0．2um 光学探针式 非接触测量、对物体表面无损伤、使片方便、快速、简单、信息量大、测量时间较长、需要高精度调焦系统、仪器价格贵 纵向分辨率1nm 横向分辨率O．1pm 扫描探针式 测量精度最高、纵向和横向测量范围都狭窄、对操作环境要求商、涉及的技术难题多、操作复杂·仪器价格也非常昂贵 纵向分辨率0.1nm 横向分辨率0.1nm 扫描电子显微镜 利用聚焦的非常细的电子束作为电子探针进行测量。适合定性测量、真空环境操作、操作复杂，测量费时 纵向分辨率10 nm 横向分辨率2nm 需要在两干涉光间引入频差、只能在空间位置上作逐点测量、精度较高、系统复杂应用较少 具有较高信噪比、测量速度慢、数据量干涉大、数据分析繁杂、在面形测量应用较少 对外界振动和空气紊流不敏感、空间载波难确定、难避免频率混叠带来误差差、能测动态相位、适用与干涉条纹瞬变的情况 结构简单、调制方便、全场测量、高测量速度和精度、应用越 来越广泛 相移干涉技术、术是一种定量的波前测量技术，相移干涉术被广泛地应用在光学测试和测量的各个领域，如：斑点条纹干涉、数字全息术以及三维轮廓术等。 相移技术与干涉显微镜相结合测量物体微观表面轮廓，是八十年代以来发展的技术。美国亚历桑那大学的博士研究生对干涉显微镜进行了改装，将显微镜中的参板固定在一块筒状压电陶瓷上，通过计算机控制压电陶瓷驱动参考板沿光轴方向匀速移动，使参考光与测量光之间的相位差随时间作线性变化，利用CCD面阵探测干涉场上各点的光强，从N帧光强算式中提取每一点的相位值，由相位与被测表面各点高度转换关系式，可获得被测表面轮廓的高度分布。这一系统虽然是性能较为优越的表面测量仪器。随后，相移干涉术得到了长足的发展，但它的发展主要是指一些相位提取算法、相位解包裹算法等方面的发展。 关于相移干涉法 相位扫描技术测量表面三维形貌示意图 测量过程 测量过程 使用干涉显微镜获取被测表面的干涉条纹 通过压电晶体驱动参考镜振动获取多幅干涉条纹图像 通过这系列的干涉条纹解调出来被测表面的高度信息 经过图像滤波等处理技术使轮廓达到一个满意的效果 根据数学模型建立基准面提取粗糙度信息，最后对表面各种参数进行评定 表面轮廓的相位计算 相位提取算法： 理论上，只需要三次相移测量就可以计算得到被测面每一点的相位信息，任何一种相位提取算法都会给出真实的相位值，并且所有算法都会得出相同的结果。但是在实际应用中，由于各种误差以及噪声干扰的影响，不同的相位提取算法对误差因素的敏感程度不同，比如适当的增加采样的次数会减小相移误差对计算结果的影响。相移次数N的选择也是根据算法对噪声的敏感程度的选取的，一般来说采样次数N越大，位相测量误差越小。 N帧算法又称满周期等间距算法或同步探测法。这种算法在一个周期内进行等间距采样，设采样次数为，每次的相移量为δ=i2π/N，则引入的