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高速、高精度微纳米压印关键技术的研究 摘要 高速、高精度微纳米压印关键技术的研究 摘 要 微纳米压印技术是一种全新的微纳图形复制工艺技术，相比于电子／离子束光刻、 紫外光刻等微纳加工手段来说，具有操作简单、极限分辨率高(10hm)、重复性好、 生产效率高、设备成本低等优点，所以一经提出就被称为“可能改变世界的十项技术 之一”，并被纳入国际半导体发展蓝图。 目前国际上使用的单印章微纳米压印技术最大可支持20cm(8in)晶圆压印，其压 印技术不但成本高，而且不能够满足大幅面微纳米结构压印要求，使得微纳米压印技 术的应用领域受到局限。 经过研究本文提出以“微区印章”高速、高精度步进连续压印组合驱动方式，实 现大幅面(400mm×400mrn以上)微纳米结构尺寸的制作。即以“高速、高精度微纳米 压印关键技术的研究”为课题开展研究工作。 主要研究内容如下： (1)课题首先对国内外相关技术研究发展现状进行了分析研究，确立了课题主要 研究内容及解决问题的基本思路。 (2)根据系统设计要求，对微纳米压印技术进行了方案设计，并比较分析，最终 确立了一种基于永磁同步直线电机驱动的高速、高精度步进连续压印组合微纳米压印 技术方案。 (3)针对设计方案，结合机电驱动系统，研究建立了“高速、’高精度步进连续压 印组合驱动微纳米压印”系统的数学模型。 (4)根据设计方案和构建的数学模型，对系统的关键结构：直线电机、直线导轨、 压印模块、压印压力控制、压印温度控制、光栅尺等进行了选型设计，并设计了用户 操作控制软件。 (5)利用研发的高速、高精度微纳米压印设备，对系统驱动平台的定位精度、最 大稳定速度、最大加速度进行了实验研究，最后通过对微透镜阵列压印精度的实验研 究，进一步证实了本课题研究的技术先进性和可行性。 万方数据 摘要 高速、高精度微纳米压印关键技术的研究 本课题的创新点： (1)提出了一种以“微区印章”高速、高精度步进连续压印组合驱动方式，实现 大幅面微纳米结构尺寸的制作方法。 (2)研究构建的“高速、高精度步进连续压印组合驱动微纳米压印系统的数学 模型，为实现微纳米压印设备结构设计和运动控制提供了理论基础。 (3)研发了一种高精度微纳米压印模头压力控制技术，能较好的满足压印模头压 力的稳定性和实时控制要求。 关键词：高速、高精度微纳米压印技术；数学模型；结构设计；实验研究 作 者：皮利华 指导老师：芮延年 II 万方数据 High-speed，High-precisionMicro／nano—imprint Research LithographyKeyTechnology ABSTRACT isakindofnewmicro／nano reproduction Nano-imprintlithography graphic totheelectron／ionbeam andother technology,compared lithography,UVlithography micro／nano hasthe of limit m