标准镜的高精度柔性支撑镜框的优化设计-中国光学.pdfVIP

第源卷摇 第源期 摇 摇 摇 摇 摇 摇 中国光学摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 灾燥造援源摇 晕燥援源 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 圆园员员年愿月摇 悦澡蚤灶藻泽藻韵责贼蚤糟泽摇 摇 粤怎早援圆园员员 文章编号摇 员远苑源鄄圆怨员缘渊圆园员员冤园源鄄园猿愿园鄄园愿 标准镜的高精度柔性支撑镜框的优化设计 王摇 平袁田摇 伟袁王汝冬袁王立朋袁隋永新袁杨怀江 渊中国科学院长春光学精密机械与物理研究所袁吉林长春员猿园园猿猿冤 摘要院为了实现干涉仪标准镜中光学元件的高精度定位袁设计了一种柔性支撑镜框袁研究了该结构的力学模型尧结构参 数尧定位精度和透镜变形遥 首先袁根据材料力学原理将柔性镜框等效为一个弹簧系统曰根据力学方程和几何关系袁建立了 透镜中心位置与柔性结构的挠度之间的二元方程遥 然后袁分析了安装位置尧温度尧结构参数对透镜位置以及作用力的影 响遥 最后袁应用有限元仿真分析了所设计结构的力学性能袁并进行对比验证遥 结果表明袁数值仿真分析的结果与有限元 仿真结果基本相同袁柔性镜框的柔性结构厚度最优值为 员郾缘皂皂遥 该设计方案完全满足干涉仪标准镜对镜框在定位精 度尧稳定性方面的要求遥 关摇 键摇 词院干涉仪曰标准镜曰柔性镜框曰定位精度曰稳定性曰有限元分析 中图分类号院栽匀苑源源援猿曰栽匀苑园猿摇 摇 文献标识码院粤 韵责贼蚤皂蚤扎藻凿凿藻泽蚤早灶燥枣澡蚤早澡责则藻糟蚤泽蚤燥灶枣造藻曾怎则藻鄄泽怎责责燥则贼 遭葬则则藻造枣燥则则藻枣藻则藻灶糟藻泽责澡藻则藻 宰粤晕郧孕蚤灶早袁栽陨粤晕宰藻蚤袁宰粤晕郧砸怎鄄凿燥灶早袁宰粤晕郧蕴蚤鄄责藻灶早袁杂哉陨再燥灶早鄄曾蚤灶袁再粤晕郧匀怎葬蚤鄄躁蚤葬灶早 渊悦澡葬灶早糟澡怎灶陨灶泽贼蚤贼怎贼藻燥枣韵责贼蚤糟泽袁云蚤灶藻酝藻糟澡葬灶蚤糟泽葬灶凿孕澡赠泽蚤糟泽袁悦澡蚤灶藻泽藻粤糟葬凿藻皂赠 燥枣杂糟蚤藻灶糟藻泽袁悦澡葬灶早糟澡怎灶 员猿园园猿猿袁悦澡蚤灶葬冤 粤遭泽贼则葬糟贼院栽燥葬糟澡蚤藻增藻贼澡藻责燥泽蚤贼蚤燥灶蚤灶早燥责贼蚤糟葬造糟燥皂责燥灶藻灶贼泽燥枣葬则藻枣藻则藻灶糟藻泽责澡藻则藻蚤灶葬蚤灶贼藻则枣藻则燥皂藻贼藻则葬糟糟怎则葬贼藻造赠袁 葬枣造藻曾怎则藻遭葬则则藻造憎葬泽凿藻泽蚤早灶藻凿援 栽澡藻皂藻糟澡葬灶蚤糟葬造皂燥凿藻造袁泽贼则怎糟贼怎则藻责葬则葬皂藻贼藻则袁责燥泽蚤贼蚤燥灶蚤灶早葬糟糟怎则葬糟赠葬灶凿造藻灶泽凿藻鄄 枣燥则皂葬贼蚤燥灶燥枣贼澡藻泽贼则怎糟贼怎则藻憎葬泽泽贼怎凿蚤藻凿援 云蚤则泽贼造赠袁葬泽责则蚤灶早皂燥凿藻造泽赠泽贼藻皂憎葬泽 藻泽贼葬遭造蚤泽澡藻凿遭葬泽藻凿燥灶贼澡藻责则蚤灶糟蚤责造藻燥枣 皂葬贼藻则蚤葬造皂藻糟澡葬灶蚤糟泽援 粤糟糟燥则凿蚤灶早贼燥贼澡藻皂藻糟澡葬灶蚤糟葬造藻择怎葬贼蚤燥灶葬灶凿早藻燥皂藻贼则赠则藻造葬贼蚤燥灶泽袁葬遭蚤灶葬则赠藻择怎葬贼蚤燥灶燥枣贼澡藻 糟藻灶贼藻则责燥泽蚤贼蚤燥灶燥枣造藻灶泽葬灶凿贼澡藻枣造藻曾怎则藻忆泽凿藻枣燥则皂葬贼蚤燥灶憎葬泽早蚤增藻灶援 栽澡藻灶袁贼澡藻 藻枣枣藻糟贼泽燥枣葬泽泽藻皂遭造藻责燥泽蚤贼蚤燥灶袁贼藻皂鄄 责藻则葬贼怎则藻袁葬灶凿泽贼则怎糟贼怎则藻责葬则葬皂藻贼藻则泽燥灶贼澡藻贼澡藻责燥泽蚤贼蚤燥灶泽葬灶凿枣燥则糟藻燥枣贼澡藻造藻灶泽憎藻则藻葬灶葬造赠扎藻凿援 云蚤灶葬造造赠袁贼澡藻皂藻鄄 糟澡葬灶蚤糟葬造责藻则枣燥则皂葬灶糟藻燥枣贼澡藻凿藻泽蚤早灶藻凿泽贼则怎糟贼怎则藻憎葬泽葬灶葬造赠扎藻凿遭赠怎泽蚤灶早贼澡藻云耘粤皂藻贼澡燥凿援 栽澡藻则藻泽怎造贼泽蚤灶凿蚤糟葬贼藻 贼澡葬贼贼澡藻则藻泽怎造贼泽燥枣灶怎皂藻则蚤糟葬造泽蚤皂怎造葬贼蚤燥灶蚤泽糟燥蚤灶糟蚤凿藻灶贼憎蚤贼澡贼澡葬贼燥枣枣蚤灶蚤贼藻 藻造藻皂藻灶贼泽蚤皂怎造葬贼蚤燥灶憎藻造造袁葬灶凿贼澡藻遭藻泽贼 贼澡蚤糟噪灶藻泽泽燥枣贼澡藻枣造藻曾怎则藻遭葬则则藻造蚤泽员郾缘皂皂袁憎澡蚤糟澡枣怎造造赠皂藻藻贼贼澡藻则藻择怎蚤则藻皂藻灶贼泽燥枣贼澡藻则藻枣藻