硅基集成电感电磁特性的研究.pdf

华北I【!力人学硕十学何论文 摘 要 集成电感作为射频集成电路的核心元件之一，目前已广泛应用到射频模块中。 随着深亚微米技术的发展和工作频率的提高，由于传统硅基螺旋电感的高频反射参 数不稳定、电磁辐射方向性差等高频电磁场问题导致设计手册中电感高频参数缺失。 另外，传统硅基螺旋电感的品质因数小、电感值小、电磁辐射大、损耗大等问题成 为后端设计的瓶颈，制约着集成电路的发展。针对以上问题，本论文首先采用有限 元法对传统硅基螺旋电感进行了有限元建模和高频电磁仿真，得到了传统硅基螺旋 电感的高频电磁特性，弥补了传统设计手册中电感高频参数缺失的问题。其次，在传 统硅基螺旋电感的基础上，提出了新型悬浮结构硅基集成电感，经高频电磁场软件仿 真验证，新型硅基悬浮集成电感的高频电磁辐射小、功耗低、耦合小、电感值大， 其性能明显优于传统硅基螺旋电感的高频电磁特性。最后，根据高频电磁仿真结果 提取的参数，在电感集总参数等效电路模型的基础上增加耦合电容，对硅基集成电 感进行了高频等效电路建模，为高频电路仿真提供可靠的仿真模型。 本文所采用的硅基集成电感电磁特性分析方法同时具有高效的计算速度和精 度，可应用于硅基集成电感的分析与设计，对高频集成电路的设计和优化版图具有 重要意义。 关键词：电磁辐射；传统硅基螺旋电感；硅基悬浮集成电感；有限元方法 Abstract inRF been used oneofthe elements The inductor，as key IC，has widely integrated the of sub-micron circuitmodels deep technology inRF development currently．With have inductors traditionalsilicon-based and working．frequency，as spiral increasing of other direction radiation，and reflection electromagnetic instability parameters，bad leadto inductor high-frequency electromagneticproblems，which high．frequency silicon-based inthe menu．In spiral missingdesign add