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消除应用在高精度测量设备中的轴承、支承和导轨的大部分误差。这是由于主动轴承和支撑拥有几个自由度，在预定的励磁区中有一个或两个连接件是由piezoactive材料做成的。在这些设备中径向和轴向的间隙以及死区等传统的错误都被最大程度的降低。主动轴承的示意图如图20.85（a）所示，在这里轴向电极数n和径向电极数m为n=m=3。主动轴承用于精密部件表面和轮廓测量系统来扫描表面。高精度球轴承的外环误差评价就是这样的一个例子。在这旋转部件的轮廓和表面的同步测量都被认可了。这可能是由于压电变频器（图20.85(b)）和分布在正常和切向分量振 20.4液压和气动执行机构 Massimo Sorli and Stefano Pastorelli 引言 执行机构最主要的功能是影响控制系统以得到预期的动作。这种目标由于执行机构成为可能，它在驱动器的动作下将最主要的能量转变成最后的机械能。 执行机构工作的动力源主要有三种形式：电力、水力、气动动力。第一种设想是电力驱动器如电机电磁阀和电磁体。其余两种设想是气缸（线性电机）和旋转电机的应用，实质上具有类似的形式和尺寸，它的运动由最初被认为不可压缩的液体（液压油、矿物油和粘性较低的液体）和可压缩的液体（压缩空气和通用气体）。 其他类型的能源也可以用但是在自动化系统中十分的不稳定。化学和热能会造成在材料中的一些变化或者是在机械运动中的一些热力学膨胀，都可以考虑在这种范畴之内。伺服系统的流体特性的研究，特别对系统允许连续控制的一个物理量来表示流体动力：压力和流量。通常，压力控制制定出来，是为需要创造一个确定的力或是力矩做准备的，而流量控制是用来进行控制运动幅度如速度，位置，加速度。 对于一种力或是速度的连续控制可以通过流体驱动装置有效的实现，和电力驱动相比具有明显的优势，如具有保持系统在负载下没有任何限制控制装置的可能性，在高速度下直接以线性运动，不需要用设备来将旋转运动转变为直线运动，并有可能具有高宽带，尤其是在液压系统中由于尺寸有限，因此，具有低惯性。 液体驱动系统 一个驱动系统，是自动化机械的一部分，由动力部分和控制部分并组成如图20.86所示。动力部分包括所有影响运动或动作的设备。控制部分根据管理程序的实施以及在传达到操作部分传感器上的可行的反馈信号来为加工过程提供和生成自动化的、周期循环的参考信号。来自控制部分的命令信号通过可以放大和转换信号的设备，将信号传送到执行部分，如果有需要，这样它们就可以被驱动器直接使用。这些接口可以是接触器或是接触器的电动马达，液压与气压执行机构中的分销阀。 图20. 87展示了一种液体驱动系统。动力部分包括驱动器——如图所示例子中的一个双作用气缸——前后室由4/2分销阀填充，构成流体动力调整界面。 阀门开关命令来自控制部分，这个命令的发送是根据动作步骤，由控制部分气缸执行预期循环运动来决定的，根据来自气缸部分的反馈信号，在图中以限制开关显示。 由于有不连续驱动系统和连续驱动系统,因此根据自动化实现的类型保留控制部分和驱动部分，在运用到不连续的驱动系统中式，第一种的效率比较高一些，典型的生产线和为交替处理机器的零部件和组件的线路；另一方面，连续驱动系统被发现在连续加工的工厂或是作为连续或模拟控制设备来达到预期的程度，或是连续流动伺服系统中。 图20.86驱动系统 图20.87液体动力驱动系统 图20.88液体动力伺服系统方案 液体驱动器，无论它们是线性（气缸）或旋转的（电机），他们都是连续系统，因为它们能确定移动部件内任意点的中断位置（杆相对于汽缸套和轴相对于电机壳）。普通气缸和马达的性能是受接触移动部件产生的摩擦动作的影响很大（动态和静态的）。这个动作尤其是在气动系统中，由著名的粘滑现象或是低速下的间歇运动产生，它来自于摩擦条件的转换以及依附在移动部件的驱动器。对于摩擦力自身的属性，设备的存在满足保留驱动器的移动部件和保持正确的压力条件，例如支撑和垫圈，产生于平衡驱动器的非线性条件下，极大地加大了在定位系统中获得高精度的难度。在某些特殊要求下为了消除这种问题，可以使用没有密封的驱动器，例如液体静态或动态的轴承。 界面元素，在图中显示为分销阀，在驱动器的执行模式的定义中起着相当重要的作用。事实上，在这个例子中只需要做一个往复运动，在驱动器动作结束时定位，它只需要一个两位的或三位的数字执行的分销阀，方案如图20.87所示。 一方面，对于定位和力传递有连续控制，可以用一个现在虽然不是数字控制的，但是是连续工作的如比例阀和伺服阀或是使用执行信号由调制信号控制的数字设备如PWM（脉冲宽度调制）类。 驱动系统因此变