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5扩散作业指导书
扩散作业指导书
1. 目的
规范该岗位的工作流程,严格动作的一致性
2.适用范围
电池生产线扩散岗位作业
3.参考
无
4.职责
无
5.术语和定义
无
6.内容
6.1 扩散炉的开关机
6.1.1 开机
6.1.1.1 开机前询问设备设施部门确认机器抽风系统已经打开,冷却水也已打开,确定后可以开机。
6.1.1.2 给机器上电,待工控机自动启动进入操作系统后,运行扩散炉运行程序。
6.1.1.3 进入程序后,先打开大N2流量到20000ml/s。
6.1.1.4 检查炉管后面的源瓶是否连接正常,阀门是否已经打开。
6.1.1.5 待前面的工作都已经正常后,按下加热按钮,给扩散炉设定好温度,开始升温。
6.1.1.6 升温时要注意不可以四根管子一起升温,四根管子必须间隔升温。
6.1.1.7 升温后按工艺要求做TCA+饱和工艺,工艺结束后待机准备生产。
6.1.2 关机
6.1.2.1 关机前先确认一下是否还有扩散炉在运行,里面是否还有硅片。
6.1.2.2 确保各个炉管均处于空闲状态,可以正常关机后,手动断开所有气体。
6.1.2.3 断开所有气体后,将后面的源瓶阀门旋紧,如长时间不开机,则需要拆御源瓶。
6.1.2.4 退出扩散炉控制程序。
6.1.2.5 退出WINDOWS操作系统。
6.1.2.6 关闭扩散炉的电源。
6.2 扩散标准操作
6.2.1 打开传递窗口检查硅片数量与流程卡上实际数量是否相吻合,如有差异需及时向上道工序交涉清楚,分清职责,避免生产统计中差异的产生。
6.2.2 从传递窗口取出硅片盒后拿到净化操作台上,注意要轻拿轻放,拿取过程中要注意避免硅片盒受到碰撞,拿完后及时关上传递窗。
6.2.3 用石英套管完好的舟叉取一个石英舟放到净化操作台上并检查石英舟的好坏,有没有裂纹等
6.2.4 取下石英吸笔,开始插片,每槽两片,轻取轻放,避免重力撞击。
6.2.5 边插片边检查有无多插片、破损片、是否甩干、绒面状况及表面有无缺陷等。
6.2.6 将插好硅片的石英舟放至指定地点,等待空闲的石英管。
6.2.7 待碳化硅桨完全退出后,把装满硅片的舟放到碳化硅桨上。
6.2.8 选择工艺号,要选择符合当前所做硅片的工艺按确定按钮,开始运行工艺。
6.2.9 在工艺运行过程中,要随时观察工艺运行曲线及气体流量显示值,如有异常要及时查明原因。
6.2.10 待扩散工艺结束后,把石英舟从碳化硅桨上取下,放到卸片台上。
6.2.11 待硅片充分冷却后,等距离的抽取工艺规定片数测方块电阻值,并记录好方块电阻值。
6.2.12 根据所测的方块电阻值调节扩散的温度,将硅片卸入硅片盒中,应尽量避免磨擦,最下面一片应扩散面朝上,最上面一片应扩散面向下,这样可以避免扩散面受到磨擦而损伤表面的绒面。
6.2.13 将扩散工序所产生的碎片、返工片按要求放入指定场所。
6.2.14 填写好工序流程卡和生产操作记录,要注明时间和操作者,时间一定要准确,以便于以后查询。
6.2.15 将扩散后的硅片放入刻蚀传递窗内,关上传递窗。(注:扩散后的硅片严禁堆积
过高)
6.3 扩散间测方块电阻
6.3.1 将扩散好的硅片从桨上取下放在卸片台上冷却。
6.3.2 待硅片充分冷却后,用石英吸笔在等距离的抽取工艺规定的片数。(注:扩散面朝炉内的硅片)
6.3.3 将取出的硅片拿到四探针测试仪处。
6.3.4 打开四探针测试仪的电源(初次测量时需预热十五分钟)正常生产时可待机。
6.3.5 使“R□”、“I”、“EXCH. 1”显示灯亮。
6.3.6 将电流档位从0.1mA调至10mA。
6.3.7 将待测量的硅片取出放在测试台上(扩散面向上)。
6.3.8 按下降按钮,使针头平压在硅片上(四针平齐)。
6.3.9 按照工艺要求调整电流值,进行电流的校准。
6.3.10 将“I”的指示灯切换至R□/ρ档。
6.3.11 读取稳定值,并记录在电池生产记录中。
6.3.12 按上升按钮。
6.3.13 取走硅片,放好。
6.3.14 放入第二片硅片。
6.3.15 按下降按钮。
6.3.16 读取稳定值,并作好记录。
6.3.17 重复以上步骤测量剩余片数。(注:炉内、炉中、炉口加以区分)
6.3.18 根据工艺要求判断是否需要返工,并及时调节扩散的温度。
6.3.19 将测试完的硅片卸到承载盒中,测量完毕。
6.4 扩散间换源
6.4.1 换源前先确认工艺已停止运行,小氮已经关闭,确定可以换源。
6.4.2 戴好防毒面具(
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