表面粗糙度自动检测技术和仪器.pdf

摘 要 摘 要 在机械制造过程中，零件的表面粗糙度是一个非常重要的参数，它直接影响零 件的摩擦、磨损、疲劳强度、接触刚度、耐腐蚀性、配合性能及机械和仪器的工作 精度。目前，各个工厂使用的粗糙度检测显微镜主要是 9J 型光切显微镜。这种显 微镜不仅价格昂贵，结构相对庞大，而且最终都需要人工目视检测和计算。随着制 造业的发展，此种显微镜已不能满足我们对零件表面粗糙度检测的要求。因此本文 基于光切法的原理，提出了一种集光、机、电、算于一体的设计方案，阐述了该仪 器的检测原理和设计方法，并成功制造出科研样机一台，为我国的检测行业做出了 积极的贡献。本文主要研究内容如下： 总结了传统的 9J 型光切显微镜的检测方法和表面粗糙度参数 Rz 值的评定方 法。阐述了光切法的原理，并基于几何光学成像原理，运用 OSLO 软件设计了两组 无限远像距平场复消色差物镜，和新的两片型线结构平行光光源，实现了对零件的 表面微观轮廓成像。 基于机械原理，合理的选择步进电机和电机控制芯片设计了全自动高精度载物 台，实现了仪器在对零件表面参数采集的过程中自动移动。 基于单片机原理，结合电机芯片和主控制芯片等电路元器件，设计了自动调焦 系统，实现了仪器自动调焦成像。 基于价值工程的原理，对旧的三片型光源和新设计的两片型光源做了对比，得 出新的光源在不影响成像质量的前提下，降低了制造成本。 通过对两组成像物镜、载物台、光源自动调焦装置以及其他零件的组装和调试， 得出该仪器实现了对零件表面粗糙度的自动检测，并且成像质量良好。 关键词：设计；仪器；表面粗糙度；光学系统 I 万方数据 Abstract Abstract In mechanical manufacturing process, the surface roughness of the parts is a very important parameter, it directly affecting parts of friction, wear, fatigue strength and contact stiffness, corrosion resistance and mechanical properties, cooperate and instruments work precision. At present, the microscope every factory use is mainly 9J type light-cut microscope. This microscope is not only more expensive than the relatively large, structure, and eventually need artificial visual testing and calculation. Along with the development of the manufacturing industry, this microscope already cant meet the testing requirements of the surface roughness for the parts . Therefore