表面界面与多层膜结构分析-谭伟石.pdfVIP

表面、界面与多层膜的 结构分析 谭 伟 石 南京理工大学理学院 内 容 提 要 一、 薄膜的一些基本概念 二、 薄膜的微结构 三、 薄膜X射线衍射仪 四、 薄膜微结构的X射线散射 表征方法 一、薄膜的一些基本概念  薄膜是一种低维纳米材料。  有别于三维的体材料,低维材料是指某一个 或两个或三个维度上的尺寸与材料的某个 特征长度相当的材料,具体讲来,包括二维 薄膜,一维纳米线(量子线)和零维量子点。  材料维度的变化，会引起材料物性的明显 变化。 薄膜材料的制备方法： 物理气相沉积：蒸发法，脉冲激光沉积， 溅射，分子束外延，离子束沉积,…… 化学气相沉积：CVD 化学溶液制备技术：Sol-Gel，电镀，阳极 氧化，…… 薄膜材料的生长过程：吸附，表面扩 散，形核，成岛，联并 薄膜材料的三种生长模式： (i) Frank-van der Merwe 模式 (F-v