MEMS硅膜电容式气象压力传感器的研制.pdf

MEMS硅膜电容式气象 压力传感器的研制 庞程1’2，赵湛1，杜利东1’2 (1．中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室，北京100080； 2．中国科学院研究生院，北京100039) 摘要：基于MEMS的电容式压力传感器以其低成本高性能在气象测量中有着广阅的应用前景。 利用ANsYS软件模拟接触式电容压力传感器的工作状态，得到硅膜的形变和应力分布状况。制 作流程采用简单标准的工艺：利用KOH各向异性腐蚀进行硅片大面积、大深度腐蚀减薄，分析了 其浓度配比对硅面平整度特性的影响，采用阳极键合形成真空腔，试验反应离子深瓤蚀形成硅膜的 效果。芯片测试结果表明方案可行。 关键词：电容压力传感器；各向异性腐蚀；阳极键合；反应离子深刻蚀 of PressureSensorBasedOilMEMS DevelopmentCapacitive PANG Zhanl。DU Chen91”。ZHAO Li-don91’2 (1．StateKeyLaboratoryofTransducerTechnology，ChineseAcademyofSciences。Beljin9100080，China zGraduateSchoolChineseAcademy100039，China) ofSciences，Beijing onMEMShas sensorbased awide futurewithlowcOSt Abstract：Capacitivepressure application and Thesensor statewassimulatedwithANSYSfOr the highperfOrrnanceo working obtaining distributionofstress．Theandstandardfabricationwere processesused；KOH simple anisotropic siliconsurface，and theeffectsofsolution anodic etching analyzing consistence；formedcavityby tofortnthemembrane DRIEwas ofsilicon．TheresultsshoWthatthis bonding．The employed sensoris inbafic measurement． applicablepressure Keywords：eapaddvepressuresensor；anisotropieetching；anodicbonding；DRIE 般，温漂大，一致性差}电容式压力传感器与之相 1 引 言 比，精度更高，温漂小，芯片结构更具鲁棒性，但线 大气压力传感器在工业生产、气象预报、气候 性度差且易受寄生电容的影响口]。目前MEMS电 分析、环境监测