多孔氧化铝薄膜制备及其应用.pdfVIP

福建省科协2005年学术年会“数字化制造及其它先进制造技术”专题学术会议 多孔氧化铝薄膜的制备及其应用 吕文龙，陈松平，孙道恒 厦门大学机电工程系 ，361005 摘要：本文探讨了阳极氧化多孔铝的形成机理，详细地叙述了最近常见的高度有序多孔氧化铝薄膜的制 备过程，并对多孔氧化铝薄膜的应用作了简要的介绍. 关键词：多孔氧化铝；阳极氧化；高度有序 中图分类号：TN304.05 文献标识码：A 1 前言 [1] 阳极氧化多孔铝结构模型的研究最早始于 1932 年.1953 年，Keller 等人 提出了比较权威的星空六 角柱型模型，即氧化膜由许多含星型小孔的六角柱型单元组成（图 1），为铝阳极氧化的机理研究奠定了 基础，多孔氧化铝包括两层，即与铝基相邻的阻挡层和外表面的多孔层，多孔层一般是非晶结构，对于 恒压腐蚀条件，其厚度满足 1.4nm/V 的线性关系.多孔层为六角密排的氧化铝晶胞结构，每个晶胞中央包 含一个星型圆柱孔，孔垂直于铝衬底表面，孔径大小取决于电解液类型，电解时的温度、时间及所加电 压.1969 年 Wood 和 O’sullivan 对 Keller 模型进行了修正[2]：认为氧化膜膜胞排列堆积紧密，膜孔近似于 圆形. 图1 多孔铝阳极氧化膜基本结构单元的Keller 模型 2 多孔氧化铝的形成机理 关于多孔铝的形成机理,现在还没有统一的看法,比较常见的有以下几种: 电场支持下的溶解模型[3] . 该模型认为,铝的阳极氧化过程包括阻挡层的形成、阻挡层溶解和多孔 层稳定生长 3 个主要阶段. 当电压加到电极两端时,电路中电阻很低,电流很高,在阳极铝膜上形成一层 坚固致密的非晶氧化铝薄膜, 称为阻挡层[4] . 由于从溶液中刚生成的氧化铝易溶于酸液中,因此部分氧 化铝发生化学溶解. 当阻挡层达到某一临界值后,电解液开始在阻挡层的表面规则排列的点处,溶解出最 初的孔核. 孔核的形成将使原来均匀分布的电场集中在孔底部区域[5] ,从而使孔底部阻挡层的溶解速率 大大增强. 同时由于孔底部局域电场增强,电流增大,导致局部过热,加速了这一溶解过程. 在溶解的同 时,阻挡层/ Al 膜界面又开始形成新的阻挡层. 这时,在电场作用下,Al + 向外迁移,而 O - 或 OH- 向 3 2 内迁移,从而不断形成阻挡层. 最后,阻挡层的溶解速率和生长速率将达到一动态平衡,进入多孔层的稳 定生长阶段. 临界电流密度效应模型[6] . 这种模型认为,对于特定的浓度与温度的电解液,阳极氧化过程总存在 一个临界电流密度 Jc ,当回路的电流密度大于 Jc 时,生成的氧化膜为完全致密型,相应的电流效率为 100%；当回路电流密度小于Jc 时,生成的氧化膜为多孔型,相应的电流效率降为 60%. 临界电流密度效 143 多孔氧化铝薄膜的制备及其应用 应勾勒出阳极氧化过程中阴阳离子的动力学行为规律. 体膨胀应力模型[7] . 这种模型认为,在稳态氧化过程中,Al 由于被氧化成 Al O 的体积比等量 Al 2 3 的体积大,因此过程中由于体积膨胀而导致每个孔都对周围产生了应力作用,是孔自组织按照六角密排方 式使体系能量最低,结构最稳定. 该模型首次定性解释了自组织原理在有序孔生长过程中的作用,但是它 忽略了电场力在孔形成过程中的作用. 笔者认为,阳极氧化一开始,金属铝迅速被氧化后,Al + 向阴极迁移,阴极附近的 O - 或 OH- 向阳极 3 2 迁移. 一