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单电容式及差分电容MEMS传感器电路检测系统 郭 斌 （中科院上海微系统与信息研究所 传感器国家重点实验室） Guobing 引言: 传感器技术是信息社会的四大支柱之一，它深入到社会生活的方方面面。传感器和计算机结合行成的智能系统大大的拓展了人类生活的空间。在传感器家族中，根据电容的物理特性制作的传感器在家族中站有重要的地位，这是因为物体的状态变化可线性的调制成为电容的变化，电容传感器是很好的状态传感器。提高电容检测，尤其是提高微小电容、微小电容差分检测的精度，是目前中外测控技术领域科技攻关的焦点，也是科技发达国家共认的测控科技的置高点。如：用于飞机和航天的MEMS的陀螺角速度传感器就是基于电容的变化原理。 本文讲述了一套单电容式传感器检测电路；另 重点解绍了一套微小电容差分高精度检测电路，用该套电路可测物体的运动加速度，该套加速度计的 关键词：单电容式传感器 差分电容式传感器 前置放大 阻抗匹配 信号调理 分辨率可达 2-18。。。 1）电容式传感器工作原理 电容式传感器分单电容式和差分电容式二种。如图一： 图一单电容式和差分电容式传感器原理图： （ 图 一 ） 电容器作为传感原件，最简单的可用两平行板组成。图（1