微型氢气传感器的结构设计与仿真分析.pdfVIP

and 2008年第27卷第11期 传感器与微系统(TransducerMicrosystem 微型氢气传感器的结构设计与仿真分析宰 徐仁庆，殷晨波，何茂先 (南京工业大学车辆与工程机械研究所。江苏南京210009) 摘要：基于金属氧化物半导体气体传感器的工作机理，提出了一种微型氢气传感器结构设计。针对几 个主要设计参数，利用有限元分析软件ANSYS对这种结构进行了热分析。通过分析和比较，完成了对微 型氢气传感器结构的优化设计，并对优化后的传感器进行了瞬态分析。分析结果表明：所设计的传感器结 构符合设计要求。 关键词：微型氢气传感器；结构设计；热分析 中图分类号：TP212．2文献标识码：A 文章编号：1000--9787(2008)11-0087—03 and Designsimulationofstructureof ● l