低气压微型ic激发源激发检测气体样品特性研究.pdfVIP

Classified Index： CODE ：10075 U.D.C ： NO ： A Dissertation for the Degree of M. Engineering Excitation Characteristics of Gas Sample of Low Pressure Micro-ICP Excitation Source Candidate: Chong Na Supervisor: Prof. Wang Yongqing Academic Degree Applied for: Master of Engineering Specialty: Detection Technology and Automatic Equipment University: Hebei University Date of Oral Examination: June, 2012 摘 要 摘 要 发射光谱仪是成分检测分析的重要仪器之一，而激发源是发射光谱仪检测分析的重 要组成部分。目前激发源微型化成为光谱仪微型化的关键所在。微型电感耦合等离子体 （ICP, Inductively Coupled Plasma ）激发源是一种处于研究阶段的新型低气压放电激发 源，与传统的常压ICP 激发源相比，其功耗、氩气消耗量、体积、重量均大幅度降低， 且成本低、便于批量生产。微型电感耦合等离子体激发源有望成为新的光谱仪激发源。 关于微型ICP 激发源性能测试以及仿真理论的研究报道较少，对其激发检测气体样品特 性进行研究是有意义的。 本工作在搭建微型ICP 激发源测试系统平台的基础上，激发测试气体样品，主要包 括氩气、氩甲烷、乙炔、氟利昂等样品，对激发结果进行了分析。根据激发样品的测试 数据计算了等离子体阻抗参数，评价微型激发源的激发性能及适用范围。其次按照微型 ICP 激发源的原理以及激发源放电室的结构等依据建立了理论模型，探索微型ICP 等离 子体激发源用于光谱仪的实际激发性能和适合分析的样品种类，分别做了定性分析以及 初步定量分析。 研究的微型ICP 激发源的起燃功率可降至3~5 W （常规ICP 激发源600~1200 W ）、 频率由微波段降至射频段、体积减至数百分之一，微型化、节能降耗效果显著。随着研 究的深入，微型等离子体激发源可能会成为光谱仪、质谱仪等分析检测仪器的一种新型 激发源，并用于微型化分析测试仪器中，具有广阔的应用前景。 关键词 光谱仪 ICP 激发源 微型 气体样品 激发性能 I Abstract Abstract Emission spectrometer is one of the important analysis chemical composition instruments. Micro inductively coupled plasma (Micro-ICP) excitation source is a new low-pressure discharge excitation source still being studied. Compared with conventional inductively coupled plasma (ICP)