超声喷雾热分解面积snolt;,2gt;：f透明导电膜的研究.pdfVIP

中文摘要 中文摘要 sn02薄膜是一种集诸多优良性能于一体的功能材料，它具有广泛的用途； 超声喷雾热分解工艺是一种在传统热分解工艺基础上发展起来的新型镀膜方 法，具有低成本、高质量的优点．本文对基于超声喷雾热分解工艺的大面积sn02 薄膜的制备技术进行了研究。 本论文主要完成了以下三方面的工作： 第一、设计并实现了基于超声喷雾热分解工艺的大面积镀膜设备。目前在 国内对超声喷雾热分解工艺的研究大多局限在小面积的实验上，而本论文最终 实现了20哪×20cm面积的均匀镀膜，因此具有一定的开创性。 第二、对超声喷雾热分解工艺制备sn02：F薄膜做了工艺探索。分别研究了 温度、掺杂比、酒精含量、载气流量和喷射距离等工艺参数对薄膜性能的影响； 将实验制得的薄膜用于制备非晶硅薄膜电池，其效率达到了5．96％，而相同条 件下采用日本进口的薄膜制备的电池效率为6．88％。 第三、和一般文献的研究方法不同，本论文对薄膜工艺过程进行研究时利 用了计算机仿真技术．通过使用FLI厄NT软件对喷雾的气流场进行模拟，得到 了流场各点详细的数据(比如速度、气压等)和整体直观的气流形貌，不仅大 大加强了分析实验过程和原理的能力，而且验证了喷头设计的均匀性。 关键词：超声喷雾热分解、大面积、二氧化锡薄膜、工艺仿真 A_bstract Abstract Itisknownlllatthinfil蛐ofSn02is衄importam 晰deb锄d tovisible gap，900dchenlical鼬mty，锄dtramparencylight；蛆d血e abom USPmeIhodhaS血e mesisis howto advantagesoflow-cost，high_q眦嘶．ne thin丘ln=lsa∞Vdmethodnamed pl砷a∞l甜ge-舰Sn02by lllnaS0r沁印ray pyrolysis(USP)． Therearethreetasksinthethesis： of on in to tllc methodit∞lfis order 2．nleIl，based eqlljpme鸡the investigated tllesubs昀te shatioII，for rel撕onbe铆ecn fmd趾叩tiIIlized ex锄ple，t11e tlle thin llsed勰也e t锄pcran鹏and films．whenlhe filmswere qual毋oftllin oftlIeceU 5．96％． electrodcofa-Si：H conversion reachcd sol盯cells，tIlc ef!丘ciency