不同金属基材上类金刚石薄膜的摩擦特性.pdfVIP

第 21卷 第 6期 光学 精密工程 Vo1．21 No．6 2013年 6月 OpticsandPrecisionEngineering Jun．2013 文章编号 1004—924X(2013)06—1545—08 不同金属基材上类金刚石薄膜的摩擦特性 郑锦华 ，李聪慧 ，张 冲 ，晁云峰 (1．郑州大学化工与能源学院，河南郑州450001；2．河南瑞邦能源科技开发有限公司，河南郑州450001) 摘要：针对类金刚石 (DLC)薄膜在精密机械零件中的应用，研究了在常温条件下沉积高界面强度的DLC薄膜的技术 ，以 提高DLC薄膜与金属基材之间的结合强度。通过在基材与薄膜之间沉积加入 a-Si：H 中间过渡层，研究了在不同金属 基材上DLC薄膜的结合强度。采用Ball—on-Disk方法评价了薄膜的摩擦特性并测定其摩擦系数、疲劳破坏寿命和磨耗。 实验结果表明：在薄膜与金属基材之间加入 a—Si：H过渡层后，界面的结合 (键合)强度得到了明显的改善，在金属基材 上沉积的DLC薄膜在磨耗过程中被完全磨穿而没有发生剥离。实验显示，在 自制的化学气相沉积 RF-DCCVD装置上 沉积的DLC薄膜的最大沉积厚度是 3．3 m；在 1 m厚度 的薄膜上施加 2．94N的负荷 (点载荷)，其疲劳破坏寿命达到 了7O万循环；DLC薄膜与SiC，Si。N ，SUS304和 sUJ2材料之间的摩擦系数为 0．140．15。得到的结果验证了薄膜与 金属间的结合强度和摩擦特性能够满足精密机械零件的使用要求。 关 键 词：类金刚石(DLC)薄膜；中间过渡材料；摩擦和磨耗；薄膜界面强度；化学气相沉积(CVD) 中图分类号：0484．2 文献标识码 ：A doi：10．3788／OPE1545 FrictionpropertiesofDLC film ondifferentmetalsubstrates ZHENG Jin—hua’¨，LICong—hui，ZHANG Chong ，CHAO Yun—feng ，， (1．SchoolofChemicalEngineeringandEnergy，ZhengzhouUniversity，Zhengzhou450001，China； 2．HenanRebornEnergyTechnologyDevelopmentCo．，Ltd．，Zhengzhou450001，China) *C0rrP5户D 72gauthor，E-mail：zhengjh2005@yahoo．corn．cn Abstract：AccordingtotheapplicationsofDiamond-LikeCarbon(DLC)filmstoprecisionmechanicalparts，a methodtodepositaDLCfilm byDC-CVDatroom temperaturewasexploredtoimprovethebondingstrength betweenfilm andmeta1substrates．Thea-Si：H intermediatemateria1wasintercalatedbetweenasubstrate andaDLCfilm，andfrictionpropertiesandbondingstrengthofthea-Si；H ：DLCfilmsdepositedondiffer— entmetalsubstrateswereinvestigatedand evaluated，andthen theirfrictioncoefficients，fatiguefailurelife andthewearweredeterminedbyBall-on-Disk．Experimentalresultsshow thatthebondingstrengthatthein- terfaceisgreatlyimprovedbyintercalatinga-Si：H intermediatelayer，theDLC film iscompletelywornout withoutdelami