基底温度复合控制对化学气相沉积纳米金刚石薄膜的影响.pdfVIP

助 材 抖 2012年第21期 43 卷 基底温度复合控制对化学气相沉积纳米金刚石薄膜的影响 张湘辉 ，汪 灵 ，龙剑平 ，邓 苗 ，冯 珊 1．成都理工大学 材料与化学化工学院，四J f成都 610059； 2．成都理工大学 金刚石薄膜实验室 ，四川 成都 610059 摘 要 ： 采用 自主研制的具有基底温度 开一闭环复合 薄膜的性能并不受基体温度的影响，但 晶粒尺寸随之 自动控制系统的直流弧光放 电PCVD设备，当开环流 减小 ；Q．P．Weill采用 HFCVD研究表明，纳米金刚 量不同时，在硬质合金基体表面分别进行 了纳米金 刚 石晶粒尺寸会随基底温度而增加 ；D．C．Barbosal 采 石薄膜制备研究。并采用SEM、XRD、激光 Raman光 用 HFCVD研究后认为，纳米金刚石薄膜中非金刚石 谱仪对所制备薄膜 的形貌 、物相和品质进行 了分析。 成份会随基底温度而增加 ，但金刚石晶粒尺寸会随之 研究结果表 明，当开环流量从 10—5—15—20mL／rain 减少。从中可以发现，前人研究结论并不统一且分歧 变化时，所制备纳米金 刚石薄膜的表面粗糙度及石墨 较大。根据本文的研究 ，其基底温度测控技术的差异 成分会 随之增加 ，金 刚石 晶粒转变为 以 110 面生长为 是造成这种分歧的主要原 因之一l1 ，即便采用 同一 主 ，且尺寸增大