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摘要 摘要 随着VLSI技术的发展，电迁移已成为集成电路主要的失效原因之一，由其引 起的可靠性问题也被逐渐关注。为此本文提出了一种能与任何器件集成在一起， 伴随器件同时进行电迁移老化，并在退化达到指定的界限时能发出失效信号的测 试结构，此结构利用芯片中的片上可靠性监视器，从而减小了对可靠性建摸的依 赖，而且它只占用很小的芯片面积，便于集成。在进行设计时，只需要仿真每个 电路和测试结构的功能，可以避开耗时且麻烦的可靠性仿真。这种内嵌式可靠性 监测器可以用来预测器件失效，并提醒替换失效器件，从而更可靠简便的避免系 统上致命的故障以及由此带来的损失。 首先对电迁移引起的电路退化进行了系统的介绍，包括电迁移的基本理论， 危害，常用的测量方法，以及研究电迁移的重要性；提出了一种电迁移可靠性报 警电路的设计思想，并阐明了其工作原理：进行了报警电路的设计、功能仿真， 以及电路和测试单元版图的制作；结合试验数据对金属导线的电迁移失效寿命进 行了预测。 关键字：电迁移可靠性金属互连线中值失效时间 Abstract