激光微加工系统3详解.pptVIP

Hisky Technology (Hong Kong) Limited 瀚宇科技(香港)有限公司 激光微加工系统 激光微加工系统 激光微加工 准分子激光微加工 飞秒激光微加工 激光微加工 微加工的概念 微细加工( micro-fabricat ion) 起源于半导体制造工艺, 是指加工尺度在微米级范围的加工方式, 在微机械研究领域中, 它是微米级, 亚微米级乃至纳米级微细加工的通称。 Microfabrication 微细加工（结构，功能，性能） Micromachining 精细加工（尺寸精确，机械加工） 区别于传统的激光加工 激光微加工区别于传统的激光焊接、切割、打孔、表面改性等，包含范围非常广，能无限激发人的创造力。 微加工分类 微细加工方式十分丰富, 包含了各种现代特种加工, 高能束等加工方式。而微机械制造过程又往往是多种加工方式的组合。目前, 常用的有以下方法: 激光微加工常用方法 激光微加工 激光微加工 优势 使用灵活 工艺简单 材料广泛 系统多用 激光微加工 准分子（Excier）微加工 准分子激光由于具有波长短(〈250nm) , 聚焦直径小, 功率谱密度高, 且属于冷光源等优点而成为最有前途的激光源。准分子激光蚀刻技术是当前激光微细加工最先进的技术之一。目前常用的有氟化氩准分子