05第三章 电子显微分析.ppt

电子显微分析的基本概念 电子显微分析是利用聚焦电子束与试样相互作用所产生的各种物理信号，分析试样微区的形貌、晶体结构和化学成分的一类分析方法，包括透射电子显微分析、扫描电子显微分析和电子探针X射线显微分析等。 电子显微分析的特点 可以在极高的放大倍率（最高可达107倍）下直接观察试样的形貌、结构，选择分析区域； 具有很高的分辨率（透射电子显微镜的分辨率已达0.2~0.1nm)，可直接观察原子的排列与分布，进行纳米尺度的结构分析和化学成分分析； 各种电子显微分析仪器日益向多功能、综合化方向发展，可以同时进行形貌、物相、晶体结构和化学成分的综合分析。 本章主要内容 第一节 电子束与固体物质的相互作用产生 的物理信号 第二节 扫描电子显微分析(SEM) 第三节 电子探针X射线显微分析（EPMA） 第四节 透射电子显微分析（TEM） 第一节 电子束与固体物质相互作用 产生的物理信号 本节主要内容 电子束与试样作用时产生的各种物理信号 这些物理信号各自的特点 这些物理信号在电子显微分析中的用途 电子束与固体物质相互作用产生的物理信号 电子束作用于试样上会产生的物理信号主要有背散射电子、二次电子、吸收电子、透射电子、衍射电子、俄歇电子、连续X射线、特征X射线、X荧光、阴极荧光等。 一. 背散射电子(Bac