4.红外吸收法测定硅单晶中氧和碳2.pptVIP

三、红外光谱法测单晶硅中氧、碳的含量 1、硅中氧和碳的红外吸收光谱。如图所示 氧的特征峰： （1）波长为λ1=8.3μm(波数为1205.cm-), 此吸收波峰主要为分子对称伸缩振动产生的，吸收峰强度很小。 (2) 波长为λ2=9μm(波数为1105.cm-), 此吸收波峰主要为分子弯曲振动产生的，吸收峰强度最大。 （3）波长为λ3=19.4μm(波数为515.cm-), 此吸收波峰主要为分子反对称伸缩振动产生的，吸收峰强度很小。 碳的特征峰： （1）波长为λ1=16.47μm(波数为607.2cm-), 此吸收波峰为基本峰，吸收峰强度较大。 (2) 波长为λ2=8.2μm(波数为1217cm-), 此吸收波峰主要为倍频峰，吸收峰很小。 2、半导体与光学常数之间的关系 半导体对不同波长的光或电磁辐射有不同的吸收性能，常用吸收系数α来描述这种吸收特性。α的大小与光的波长λ有关，因而可以构成一个α～λ的连续普带，即吸收光谱。 如图所示，样品受到一束强度为 ，分为三部分： 、 和 ，因此有 将上式除 ，可得 R、K、T分别为反射率、吸收率和透射率。在半导体中传播时，吸收系数α的定义：相当于波的能量经过1/α距离时减弱为1/e倍。因此α越大，光强度减弱越多，光的吸收性能越高。 半波峰 的定义：在吸收系数与波数的关系曲线上，取1/2