多轴亚微米级平面定位台的滑模观测器无传感控制.pdfVIP

第 22卷 第 11期 光学 精密工程 Vo1．22 No．11 2014年 11月 OpticsandPrecisionEngineering Nov．2Ol4 文章编号 1004—924X(2014)11-3067—07 多轴亚微米级平面定位台的滑模观测器无传感控制 佃松宜 ，向国菲，蒲 明 (四川大学 电气信息学院，四川 成都610065) 摘要 ：针对 Sawyer电机驱动 的平面定位台的多轴精密定位问题 (X、Y和0 轴)，提 出了一种新的部分无传感控制方法 。 用激光干涉仪检测定位 台一个方 向上的平移运动和摆动 ，并构建相应 的闭环控制 ；同时，应用滑模观测器估计另一个方 向上 的平移运动并构建对应轴 的闭环控制 。在此基础上 ，通过实验从开环控制、多轴全闭环控制及部分无传感控制三方 面对 比了定位性能。实验结果表明：采用部分无传感控制，多轴平面定位台的重复定位精度达到亚微米 (O．25 m)级；部 分无传感控制下的动子行程与开环控制相 同(x轴 300mm、Y轴 300ram)，远大于基于多轴位置传感 的全 闭环控制下的 动子行程 (X轴 100Film、Y轴 100mm)；获得 的结果可满足应用设计要求。 关 键 词 ：平面定位 台；滑模观测器 ；无传感控制 ；精密定位 中图分类号：TP274；TH703 文献标识码 ：A doi：10．3788／OPE3067 Sensorlesscontrolofslidingmodeobserverformulti-DOF subm icron-orderplanarmotion stage DIAN Song—yi ，XIANG Guo—fei，PU M ing (SchoolofElectricalEngineeringandInformation，SichuanUniversity，Chengdu610065，China) *C0门rs 0 gauthor，E-mail：scudiansy(SCU．edu．cn Abstract：A novelPartialSensorlessControl(PSC)methodwasproposed to improvetheprecision positioningcapabilityofmulti—DOF (X ，Y and )motionforaplanarmotionstagedrivenbySawyer motor．Forthepositionestimation，alaserinterferometerwasusedtodetectthetranslationa1motion and swing in one direction and to constructa closed—loop control；a sliding modeobserver—based techniquewastakentoestimatethetranslationalmotioninanotherdirectionandtoconstructaclosed— loopcontrolforacorrespondingaxis．Thepositioningperformanceon open—loopcontrol，closed—loop controlandPSC wascompared by experiments．TheexperimentalresultsverifythatthePSC isan availablewaytoobtainsubmicron—orderpositioningaccuracy (0．25um)witha300mm (X)×300mm (y)travelrange，which ismorelargerthanthatof100mm (X)×100mm (y)travelrangefrom the closed loop controlofa multi—DOF (X ，Y and Oz) location sensing．The resultm