07光电式传感器资料.ppt

扫描头（与移动部件固定） 光栅尺 可移动电缆 * 透射式圆光栅 * （二）反射式光栅传感器 1、反射式长光栅传感器： 发光二极管经聚光透镜形成平行光，平行光以一定角度射向裂相指示光栅，莫尔条纹是由标尺光栅的反射光与指示光栅作用形成，光电器件接收莫尔条纹的光强。 * 2、反射分光式光栅传感器 组成：光源1、准直透镜2、分光棱镜3、闪耀光栅4（等腰三角形）； * 2、反射分光式光栅传感器 组成：光源1、准直透镜2、分光棱镜3、闪耀光栅4（等腰三角形）； 光栅工作在自准状态，光束垂直投射线槽面，最大强度衍射光沿原路反射回3。A、B两处返回的两路衍射光经3投向透镜5，二者相干，相遇干涉，干涉条纹由光电器件6接收。 栅线刻划面与光栅平面夹角φ ，控制φ可以使要求的光谱级次m发生在最大光强方向，产生主闪耀条件： * * B A B ΔW B1 * * 第六节 激光式传感器 激光式传感器组成：激光器、光学零件和光电器件。 一、激光干涉传感器 工作原理：光的干涉原理 典型应用：迈克尔逊双光束干涉系统 * 反射镜M2移动半个光波波长，干涉条纹明暗变化一次，测量位移x计算公式如下： * 二、激光测微测头 绝对距离传感器，利用激光的方向性好的特点。 三角法测头原理图 * 测量原理：利用几何三角关系测位移。激光聚焦成小光斑，成像于光电探测器，投影光轴与成像光轴夹角θ，被测位移x近似计算如下： * 三、激光扫描传感器 基本工作原理：氦氖激光器发出激光细束,经扫描装置恒速对直径D的被测物体扫描，光电器件接收后转换成如图所示电脉冲，测出Δt即可求得直径D。 D=vΔt * 物体轮廓的光强分布因激光衍射影响形成缓慢过渡区，不能准确形成边缘脉冲。为此要对电信号适当处理，处理方法： 方法一：取最大输出的半功率点（I0/2）作为边缘信号。 * 缺点：受激光光强波动、放大器漂移影响不易获得高精度； 方法二：对电信号通过电路二次微分，取二次微分的过零点作为轮廓的边缘位置。 这种方法测量精度较高。 * 作业 P156：4、6、12 * * * * * * （二）非功能型光纤传感器 发射和接收光纤的常见组合方式有混合式、对半式、共轴内发射分布三种。混合式的灵敏度最高，对半式测量范围最大。 * （二）非功能型光纤传感器 2、光纤温度传感器 种类很多。 其中一种，把半导体材料夹持在发射光纤和接收受光纤中，当温度变化，半导体材料的透光率随之改变，接收光纤中接收到的光通量也会改变。 * 1、通过对线芯的折射率进行调制，形成光纤光栅。 2、在光纤上用紫外光刻写光栅，10mm的光纤光栅包含了10000个在纤芯中规则分布的微小的反射镜面。 2、温度/应变等物理量的变化与所导致的栅距变化呈线性。光栅反射波长随栅距变化而线性变化； 三、光纤光栅传感器 * 光在光纤光栅上的传输： 宽带光进入光纤，经过光栅反射回特定波长的光。 光纤光栅反射光的中心波长取决于光栅的条纹间距； 光栅的条纹间距取决于：施加的应变和温度。 * 第五节 光栅式传感器 光栅：在玻璃（或金属）尺或玻璃（或金属）尺盘上进行刻划，可得到一系列黑白相间、间隔细小的条纹，不刻划处透光，刻划处不透光，这种具有周期性的刻线分布的光学元件称为光栅。 * 光栅式传感器的特点： 精度高。 大量程测量兼有高分辨力。 可实现动态测量，易于实现测量及数据处理的自动化。 具有较强的抗干扰能力。 光栅式传感器的应用：几何量、振动、速度、应力、应变。 * 一、计量光栅的种类 计量光栅：利用莫尔条纹现象进行精密测量的光栅。 种类： 按基体材料的不同主要可分为金属光栅和玻璃光栅； 按刻线的形式不同可分为振幅光栅和相位光栅； 按光线的走向又可分为透射光栅和反射光栅； 按其用途可分为长光栅和圆光栅两类。 * 1、长光栅 测量对象：长度、直线位移； 特点：刻线相互平行，又称光栅尺。 栅线密度：每毫米长度内的栅线数，表示长光栅栅线的疏密程度。例如栅线间距W=0.02mm时，栅线密度为50线/mm。 * 透射长光栅示意图 a——栅线的宽度（不透光） b——栅线间宽（透光） a+b=W——光栅的栅距（也称光栅常数），通常a=b=W/2。 长光栅有振幅光栅和相位光栅两种形式。 振幅光栅是对入射光波的振幅进行调制，也叫黑白光栅，它又可分为透射光栅和反射光栅两种。 在玻璃的表面上制作透明与不透明间隔相等的线纹，可制成透射光栅；在金属的镜面上或玻璃镀膜（如铝膜）上制成全反射或漫反射相间，二者间还有吸收的线纹，可制成反射光栅。栅线密度20~125线/mm。 相位光栅（闪耀光栅）是对入射光波的相位进行调制，它也有透射光栅和反射光栅两种形式。栅线密度600线/mm以上。（立体画） * 2、圆光栅 定义：刻划在玻璃圆盘上的光栅称为