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2016-03-15 发布于安徽
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第卷第期陶瓷学报 , 年月法氮化硅薄膜制备及性能杨辉马青松曼葛珍浙江大学摘要 , 、和 , 、和面氮化硅薄膜是一种重要的薄膜材料具有优秀的光电性能钝化性能机械性能将在微电子光电材料表改性领域获得广泛应用。本文着重评述了制备氮化硅薄膜的几种化学气相沉积方法和一些性能。关键词氮硅 , , 学积 , 能化薄膜化气相沉性 · , , , , , , 化学气相沉积法是