薄膜生长的计算机模拟研究.pdfVIP

摘 要 薄膜材料不仅包含丰富的物理信息和物理理论基础，还在材 料科学、电子技术、信息技术、生物技术等众多领域有着广泛的 应用，是近年来迅速发展的研究方向之一。随着计算机技术的进 步和对物质不同层次的结构及动态过程的理解的深入，利用计算 机对原子尺度的薄膜生长过程进行模拟，是进行薄膜材料研究的 有效方法。 本论文建立了六角密堆衬底结构的模型，建立了表面原子的 扩散模型，研究了表面粒子之间的相互作用;通过表面粒子的扩 散研究了单粒子的扩散距离;研究了跃迁步数和沉积速率对薄膜 生长过程的影响。在此基础上采用MATLAB6.0软件，利用Monte Carlo方法，编制程序对薄膜的生长进行了计算机模拟。通过模 拟，得到了薄膜生长过程中的三维图像，并对得到的图像和数据 结果进行统计分析，揭示了薄膜生长过程中一些微观现象。 关镇词:薄膜生长;MonteCarlo;MATLAB6.0;岛; Abstract Recently,thestudyofthinfilmsisoneofthemost investigatedfieldsduetoitsuniquecharacteristicsandpotential widerangeofapplicationsinmodernscienceandtechnology. Astheadvancesofcomputertechnologyandoftheinsightsinto thestructuresanddynamicprocessesofmaterialsatits differentlevels,themodelingsimulationofthegrowthofthin filmsonatomicscaleisaneffectivewaytostudyinthisfield. BasedonthemodelofHekagonasclosedpackedof substratesandofthediffusionofsurfaceparticles，the interactionofsurfaceparticleandthediffusivedistanceofsingle particlearestudied.Also,theinfluencesofhoppingnumbers anddepositrateonthegrowthofthinfilmareinvestigated. Furthermore,thegrowthofthinfilmsismodelingsimulated usingMonteCarlomethodbasedontheMATLAB6.0.Weget thethree-dimensionalmorphologyduringgrowthandthemicro phenomenaofthegrowthprocessesarerevealedthroughthe statisticalanalysisoftheresults. Keywords:Thethinfilmgrowth MonteCarlo;MATLAB6.0 N I 引 言 ·卜 1引 言 t.t薄膜材料研究的愈义 在材料科学的各分支中，薄膜材料科学的发展一直占据了极为重要的位。薄膜材料 是相对于体材料而言的，是人们采用特殊的方法，在体材料的表面沉积或制备的一层性 质与体材料完全不同的物质层。薄膜材料受到重视的原因在于它往往具有特殊的材料性 能或性能组合. 薄膜材料作为二维材料最主要的特点是在一个尺度上很小的所谓尺寸特点，这个特 点对于各种元器件的微型化、集成化具有重要意义，薄膜材料的很多用途都基于这一特 点12)，最典型的是用于集成电路和提高计算机存贮元件的存贮密度等。由于尺寸小，薄 膜材料中表面和界面所占的相对比重较大.与表面有关的性质变得突出，因而常常有注 意一些三维材料中影响较小的效应。与表面界面有关的物理效应主要有:由于光的干涉 效应会选择性透射和反射:由于电子与表面碰撞发生非弹性散射会使电导率、霍耳系数、 电流磁场效应等发生变化;当薄膜厚度比电子的平均自由程小得多，