精密定位理论方及应用技术的研究.pdf

摘要 精密定位技术是超精密加工、集成电路器件制造、电子产品组装线、生物工 程及纳米技术等领域的关键性基础性技术，其技术涉及到激光理论、电子技术、 精密机械、传感与测量、信息处理、计算机、伺服驱动、智能控制等多门学科， 具有广泛的应用前景。本文主要研究利用激光莫尔信号实现高精度位置检测与精 密定位的理论、方法及其关键技术，并将相应成果应用到工业现场控制中，具体 包括： 1．研究了纳米级分辨率的精密位移测量理论方法。应用物理光学和傅立叶 光学理论，分析了双级光栅衍射时的相对位移与激光莫尔信号强度的关系，建立 了基于激光莫尔信号的精密位移测量数学模型。应用数值分析方法对建立的数学 模型进行了计算机仿真。仿真结果表明，莫尔信号强度随两片光栅的相对位移呈 周期性变化，同时莫尔信号强度也随两片光栅的间距G呈周期性变化，当光栅 距离G为P2／2的整数倍时，光强幅度变化最大。此外，对影响激光莫尔信号特 性的各种参数进行了实验研究，实验测量结果与理论分析结果一致。 2．探讨了精密定位的基本理论依据，研究了精密直线定位的基本控制规则。 为确保高的定位精度，提出了精密直线定位的两种定位方法：差动莫尔定位法和 修正莫尔定位法。对这两种方法进行了详细的理论分析及实验研究，结果表明， 两种定位方法均能有效提高位置检测信号的灵敏度，其中差动式定位由于能消除 同相噪声干扰及激光管本身光强的波动，定位精度高于修正式定位，但修正式定 位方法的结构比较简单。 3．研究了双光栅衍射产生的莫尔信号的角位移特性，建立了莫尔信号强度 与对应角位移偏差的数学模型，并通过计算机仿真对莫尔信号的角位移变化规律 进行了研究。结果表明，莫尔信号强度随两片光栅的相对角位移呈周期性交化。 在此基础上，研究了精密角度定位的基本控制规则，并进行了实验研究，获得了 ±50nrad的角位移分辨率及±59rad的角度定位精度。 4．在精密定位研究的基础上，研制开发了荫罩式等离子显示器(SMPDP) 精密定位装雹。精密定位装置以精密微动台为核心，采用CCD和激光莫尔传感 器检测位置偏差，驱动系统采用脉冲细分式驱动步进电机，并通过精密丝杠机构 将细分后步进电机的微小角度转化为微米级的线性位移，以满足定位控制的需 要，最终的定位误差依靠计算机闭环控制作用来消除。精密定位时，工控机根据 CCD信号和莫尔信号的大小和极性发出相应的驱动脉冲信号，驱动定位台，达 到所设定位置精度范围。定位台在软、硬件方面采取的一系列抗干扰措施，确保 了系统较高的定位精度及工作可靠性。实验结果表明，研制的精密定位装置可获 得±5朋的定位精度及60s的定位时间。 5．在研制的SMPDP精密定位工作台上，进行了精密平面定位技术的研究。 通过对平面位置与对应莫尔信号关系的优化分析，找出了x—Y一口三自由度的平 面最佳控制策略，并由计算机系统实现自动调节和控制，完成，一Y一口三自由度 的全自动精密平面定位，最终实现前基板、荫罩与后基板三者之间的全自动精密 平面定位。 6．为实现大行程下的高精度定位，提出了租定位与精定位相结合的两段式 复合定位方法，其中粗定位采用CCD图像定位技术，精定位采用激光莫尔定位 技术。粗定位时，计算机根据检测到的CCD信号，判断出基板与荫罩板之间的 位置偏差，发出相应指令，驱动定位台进入定位点附近，完成粗定位，粗定位精 度--+220肛m。粗定位结束后，计算机再根据莫尔信号的大小和极性发出相应的 驱动脉冲信号，驱动定位台进入设定的位置偏差范围内，完成精定位，定位精度 为±5Ilm。 7．针对精密定位装置存在非线性，精确数学模型难于建立的缺陷，提出了 精密定位的模糊神经网络控制方法。将模糊神经网络应用于该控制系统中，系统 以光栅常数440Il111的光栅为定位标记，以激光衍射产生的莫尔光光强及光强的 变化率为神经网络的输入变量，利用神经网络的自学习功能进行精密定位控制。 给出了模糊推理BP网络模型，模型由输入层、隐层和输出层3层神经元组成， 通过对光强及光强变化率的映射，得到电机驱动信号。改造后的模糊控制系统具 有了知识自动获取功能，能更好地适应工况环境。实验结果表明，使用模糊神经 网络控制，控制响应快、稳定性好、鲁棒性强，从而使精密定位装置在达到高精 度的同时，又能缩短定位时间，实现高速高精度定位控制。 关键词： 衍射光栅；莫尔信号；位移测量；精密定位；数值仿真；差动莫尔技 术；修正莫尔技术；等离子显示器；电荷耦合器件；计算机视觉；图 像识别；模糊控制；神经网络；智能控制