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* 轮廓算术平均偏差Ra 定义：在采样长度l内轮廓偏离中线距离的绝对值的算术平均值。 * 微观不平度十点高度Rz 定义：在采样长度l内五个最大轮廓峰高ypi的平均值与五个最大的轮廓谷深yvi的平均值之和。 * 轮廓最大高度Ry 定义：在采样长度l内五个最大的轮廓峰顶线与轮廓谷底线之间的距离。 * 1.2 表面微观形貌 的表征方法与表征参数 表面微观形貌的评价与测量技术是近年发展起来的一项新技术。 由于计算能力、计算速度和图像、数据处理技术的不断提高，极大地推动了三维表面微观形貌测量仪器的实用化和商品化，同时也增加了研究者对表面形貌分析的兴趣。 * 在表面粗糙度的表征中，测量数据是以评定基准线为中心的位置函数z＝f（x），这样获得的数据，经常被称为表面二维轮廓数据 在三维表面形貌的表征中，测量数据是以评定平面（理想平面）为中心的位置函数z＝f（x，y），通常称为表面三维形貌数据。 * 注意：实验表面，在同一表面对来自不同的参数测量，其差异可能达50％。 只有当表面满足各向同性和均一性时，在任何位置和方向的轮廓才能真正表示实际表面的表面粗糙度特性。 * 基准表面： 因为实际表面本身是被测量的对象，不能作为基准面 应该选择与被测实际表面在空间的走向一致，可用数学方法确定（如最小二乘法、算术平均法、最小包容区域法等）的理想平面。 基准表面可以是平面也可以是曲面。 * 表征三维表面形貌特征的基准表面的产生方法 1）最小二乘表面 最小二乘表面是由在现行标准中所采用的最小二乘直线导出的。 定义：使得实际表面离开该平面的偏差的平方和为最小值，并且有明确的数学算法 * 2）滤波表面 数字滤波可以分离被测表面内的不同频率称为，因而一个提桶滤波器也可以用于产生基准表面 为了不改变表面的形状，滤波器必须是线性的或零相位的，同时要求光滑的截止转换以避免振荡效应。 * 3）其他的基准表面产生方法 算术平均中位面 包络面 样条函数 * 表面形貌的图形（像）表征方法 三维表面形貌的表征主要有图形（像）表征和参数表征两种方法。 图形（像）表征的特点是测量结果非常直观 等高图、投影图 参数表征方法的最大优点是便于不同表面特性的定量化比较 * 表面三维形貌的参数表征方法 目前表面二维表征情况，在新的ISO4287（1996）的草案中，对于未滤波的基本轮廓、波度轮廓和滤波的粗糙度轮廓的描述，建议了27个标准化的幅度参数、3个间距参数和12个综合参数。 * 工程表面的三维形貌是复杂的，每个参数仅能描述形貌的一个方面，按不同的表征特征可以将参数分为4类： 幅度参数、空间参数、综合参数和功能参数 * 幅度参数 表面形貌的均方根偏差Sq 这是一个统计幅度的参数，定义：在采样区域内，表面粗糙度偏离参考基准的均方根值 表面十点高度Sz 定义：在采样区域内，5个最高顶点的高度和5个最深凹坑的深度平均值 表面高度分布的偏斜度Ssk 定义：偏斜度是表面偏差相对于基准表面的对称性度量 表面高度分布的峭度 定义：与偏斜度相关，描述形貌高度分布的形状，是形貌高度分布的峰度和峭度的度量 * 空间参数 最速衰减自相关长度Sal 标准化的区域自相关函数衰减到临界值r时的最短相关长度 表面峰顶密度Sds 包含在单位采样面积内顶点的数目 表面的结构形状比率Str 用以辨识形貌类型的参数，即辨识表面是否为长脊形，或在各个方向上是否具有统一的纹理形状。 表面的纹理方向 表明表面纹理方向形的参数 * 综合参数 该类参数包含了幅度和间距两方面的信息，综合参数是影响表面摩擦性能的重要因素 均方根斜率 采样区域内表面斜率的RMS值，采样间隔对表面斜率的影响很显著 算术平均顶点曲率 采样区域内顶点的主曲率的平均值 展开界面面积比率 采样面积内表面界面面积的增量比率，它反映的是表面的综合性能，其值越大，表明幅度或间距特征越显著。 * 功能参数 为了获得表面某些特殊的性能方面的信息，引进一些参数来表征表面的某些特殊性能。功能参数与表面的三维微观形貌密切相关 表面支撑指数 中心液体滞留指数 谷区液体滞留指数 * 2 表面粗糙度与表面微观形貌的测量方法 根据其工作原理不同可以分为5类 机械探针测量法 光学探针测量法 干涉显微测量法 扫描电子显微镜测量法 扫描探针显微镜测量法 * 2.1 机械探针测量法 机械探针测量法是开发较早、研究最充分的一种表面轮廓测量方法 它利用机械探针接触被测表面，当探针沿被测表面的微观凹凸不平使探针上下移动，其移动量由与探针组合在一起的位移传感器测量，所测数据经适当处理就得到了被测表面的轮廓 * 机械探针测量纵向分辨率可达到0.1nm的量级，横向分辨率只能达到0.05-0.25um 注意：属于接触式测量 测量时，探针要在一定的压力下接触被测表面，为了获得较好的测量精度和较高的横向分辨率，探针半