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多晶硅提纯技术 目 录 摘?要2.1 改良西门子法——闭环式三氯氢硅氢还原法流化床法——硅烷法——硅烷热分解法 2.3冶金法——物理法——等离子体法3.1 四氯化硅的性质 6 3.2 四氯化硅的综合利用 4技术比较及发展趋势4.1国外多晶硅生产技术发展的特点参考文献多晶硅的提纯技术及副产物的利用 摘?要：高纯多晶硅是电子工业和太阳能光伏产业的基础原料，在未来的50年里，还不可能有其他材料能够替代硅材料而成为电子和光伏产业主要原材料。　　随着信息技术和太阳能产业的飞速发展，全球对多晶硅的需求增长迅猛，多晶硅价格也随之暴涨。自2006年以来，受市场虚高价格与短期暴利诱惑，我国掀起了一波多晶硅项目的建设高潮，规模与投资堪称世界之最。我国多晶硅产量2005年时仅有60吨，2006年也只有287吨，2007年为1156吨，但2008年狂飙到4000吨以上，2009年，中国多晶硅产量达1.5万吨。　　2008年在金融危机影响下，多晶硅价格暴跌，从最高时的四五百美元/公斤，跌至最低至每公斤五六十美元。2010年随着海外市场复苏，多晶硅进入新一轮投产热，乐电天威、鄂尔多斯子公司等多晶硅生产企业纷纷发布投产消息。多晶硅价格重拾回升态势。由于2010年整个光伏行业的复苏，其产业链上的所有产品如太阳能电池硅片、电池片、组件等都呈现出供不应求的态势。　 总体来看，目前国内多晶硅行业的两极分化趋势明显，这同时也是行业整合期如期到来的表现。 白炭黑的市场需求量大幅增长，进口增长率连年保持在高位，其市场前景非常广阔。 多晶硅副产品四氯化硅是生产气相法白炭黑的主要原料，目前国内多晶硅产业飞速发展，对于副产物的处理也提到相应的高度。目前，多晶硅副产物主要通过氢化转化成三氯氢硅、合成有机硅、制备气相法白炭黑以及提纯成高纯度四氯化硅、作为光纤预制棒原料4种途径。在这4种途径中氢化还原三氯氢硅对多晶硅企业来说是最理想的途径，而白炭黑的生产对多晶硅企业来说不仅仅能消耗副产物，同时生产具有“工业味精”美誉的白炭黑，能够扩展多晶硅企业的产业链，实现产品的多样化，促进资源的循环利用。 目前白炭黑不仅仅在传统的硅橡胶、涂料、橡胶、化学机械抛光等传统领域，还在一些新的领域如医药行业、农业、日用品等行业有广泛使用；近年来随着我国有机硅工业、汽车工业所带动的轮胎工业的飞速发展以及硅橡胶在我国的大规模应用，白炭黑的市场需求量也大幅增长，进口增长率连年保持在高位，其市场前景非常广阔。 目前国内已经有不少厂家在生产白炭黑，而且都在努力提升产品品质，以洛阳中硅高科技有限公司为代表的企业利用自身优势，在科技部“863”课题的支持下突破了一系列技术难关，目前产品质量显著提升。 ????国外多晶硅企业在多晶硅副产物利用方面的技术非常成熟，其多年的技术积累和强大的研发实力使副产物能做到物尽其用。以德国的瓦克公司为例，其研发的应用于各个领域的白炭黑产品型号有上千种，目前公司销售收入的将近1/3由非多晶硅业务创造。国外成熟的多晶硅企业在副产物的处理方面的经验值得国内多晶硅企业学习借鉴，国内多晶硅企业必须重视副产物的综合利用，加大研发投入，逐步缩小差距。 副产物的综合利用?1引言 多晶硅作为太阳能和微电子产业发展基石，是集成电路和光伏发电用关键原材料。随着我国光伏产业近年来的超常规发展，预计未来几年的年需求将超过2万吨。然而，生产多晶硅是一个提纯过程，金属硅转化成三氯氢硅，再用氢气进行一次性还原，这个过程中约有25%的三氯氢硅转化为多晶硅，其余大量进入尾气，同时形成副产品——四氯化硅。在这个过程中，如果回收工艺不成熟，三氯氢硅、四氯化硅、氯化氢、氯气等有害物质极有可能外溢，存在重大的安全和污染隐患。? 2多晶硅提纯技术 2.1改良西门子法——闭环式三氯氢硅氢还原法多晶硅生产的西门子工艺，其原理就是在1100左右的高纯硅芯上用高纯氢还原高纯三氯氢硅，生成多晶硅沉积在硅芯上。改良西门子工艺是在传统西门子工艺的基础上，同时具备节能、降耗、回收利用生产过程中伴随产生的大量H2、HCI、SiCI4等副产物以及大量副产热能的配套工艺。目前世界上绝大部分厂家均采用改良西门子法生产多晶硅。 　　1、改良西门子法是目前主流的生产方法 　　多晶硅是由硅纯度较低的冶金级硅提炼而来，由于各多晶硅生产工厂所用主辅原料不尽相同，因此生产工艺技术不同；进而对应的多晶硅产品技术经济指标、产品质量指标、用途、产品检测方法、过程安全等方面也存在差异，各有技术特点和技术秘密，总的来说，目前国际上多晶硅生产主要的传统工艺有：改良西门子法、硅烷法和流化床法。改良西门子法是目前主流的生产方法，采用此方法生产的多晶