自动组合装置的时有色佩特里网模型的建立、仿真与分析.pdfVIP

自动组合装置的赋时有色佩特里网模型的建立，仿真与分析 摘 要 近年来半导体制造业在全球范围发展迅速。但是半导体极其复杂 的制造过程导致了较高的行业壁垒和制造成本。制造过程中需要牵涉 到上百道工序和许多关键核心设备，其中就包括了自动组合装置。自 动组合装置是半导体制造过程中的关键设备，往往也是瓶颈设备。对 其进行迅速而直观的量化分析对提高半导体生产效率和制造成本的 预测均有着重大意义。而获得一个合理的分析结果的关键在于为自动 组合装置建立合适的模型。该模型必须合理而简洁，能够客观反映自 动组合装置运行的物理过程和状态，模拟晶圆走向并且通过仿真获得 晶圆运行各状态下的时间信息。所有的仿真过程能够图形化的显示出 来，以便直观的了解各单位在每个步骤的实时运行状态。 有色赋时佩特里网的出现使其成为解决此类建模问题的有效途 径。佩特里网本身能用以对离散事件系统进行模型建立，而其拓展集 有色赋时佩特里网能够支持类似面向对象的特性，使得原来庞大复杂 的网络变得简洁而模块化。函数功能的引入让网络能够实现更多更复 杂的应用。赋时特性能够精确的描述不同事件发生的先后顺序，让精 确模拟实际的物理系统成为可能。 本文详细阐述了如何对单机械臂双处理仓和双机械臂双处理仓 两种结构不同的自动组合装置建立有色赋时佩特里网，采用的平台是 丹麦 Aarhus 大学开发的 CPN Tools 。本文首先针对单机械臂设备按照 抽象逻辑和具体逻辑两种对晶圆走向不同的处理方法建立起两个结 构不同的模型，通过对晶圆运行结论的比较分析验证了两个模型的一 致性。目的在于指出抽象逻辑模型在网络简洁性上较强，但是由于并 没有针对晶圆的实际走向进行建模，导致可读性较差，而且无法直接 应用于双机械臂设备的建模。之后沿用单臂机械设备具体逻辑型模型 的思路建立起了较为复杂的双机械臂模型。由于双机械臂设备的逻辑 关系较为复杂，所以此处本文大量引入自定义函数用以建立合适的弧 表达式。同样引入了镜像库所和辅助库所进行逻辑关系的校正。最后 利用 CPN Tools 的仿真功能，得到单臂和双臂两个设备的运行结果并 对其进行量化比较分析从而得出单双臂设备的效率差别，并且针对单 块晶圆的实际走向和时间消耗，得到了单双臂设备各自的先天性缺陷 以及可能存在的改进。本文的研究平台和切入点较为新颖，国内外尚 未见到利用CPN Tools 这个可视化有色赋时佩特里网平台对半导体生 产中自动组合装置的模型建立，仿真与分析的相关文章，是将两个不 同的新兴领域结合的有益探索。本文的研究方法和结论对于更为复杂 的自动组合装置的有色赋时佩特里网的模型建立以及分析具有一定 的参考价值。 关键字： 自动组合装置，佩特里网，CPN Tools，建模 THE MODELING， SIMULATION AND ANALYSIS OF CLUSTER TOOLS USING TIMED COLOR PETRI NETS ABSTRACT Recently semiconductor manufacture is growing rapidly worldwide 。 However ， complicated manufacture process leads to extremely high entry-barrier and manufacture cost 。 The manufacture process involves the participation of over hundred procedures and many key equipment ， which includes so-called cluster tools 。 Cluster tools is the key equipment， and always bottle-neck equipment ， during semiconductor manufacture 。 Prompt ， intuitionistic and quantitive analysis has a significant importance in increasing manufacture efficiency and forecasting the m