氧化锌晶须生产程自动控制系统设计与应用.pdfVIP

摘要 氧化锌晶须生产过程是一个较为复杂的过程。由于长期依靠人工 经验，现场操作缺乏科学的指导，使得通入氧化炉的气体参数不稳定， 导致氧化锌晶须产品质量低。为此开发氧化锌晶须自动控制系统，将 先进的自动控制技术应用于晶须生产过程，对稳定工艺参数、提高晶 须产品质量以及实现生产过程综合自动化具有非常重要的意义。 本文以氧化锌晶须生产过程为研究对象。在分析了氧化锌晶须生 产过程中氧化炉用气参数与晶须质量的关系后，根据影响氧化炉用气 的两个主要参数——氧含量和流量，进行了配气控制系统的研究和设 计。本文首先提出了该控制系统的结构框架，并总结了其功能特点； 然后针对实际配气系统存在时滞性和耦合性的特点，以及配气系统存 在不确定外部因素干扰的特点，根据其动态特性建立了数学模型，采 用前馈解耦控制算法和增量式PID算法，设计了相应的控制器；最后 开发了控制系统的监控软件，并给出了运行结果。 PLC S7．300系列 应用软件采用EasyBuil