- 1、本文档共11页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
光伏电池及其组件的减反膜综合优化.doc
晶体硅光伏电池和组件的减反膜综合优化
上海君威新能源装备有限公司
夏世伟
2011-5-2
摘要:本文通过理论分析和实验验证,详细分析了太阳能电池和光伏组件的减反膜系统,建立了减反膜系统的综合评价体系,同时提出了减反膜系统的优化设计方法,初步探讨了优化减反膜系统的产业化实现方法。
关键词:太阳能电池 光伏组件 减反膜 多层减反膜 镀膜工艺 M-SioNAR
前言
在地面用太阳能电池及其组件的制备工艺中,减反膜对于太阳能电池的光电转换效率起着非常重要的作用。理论和实践证实,适当的减反膜系统,能够使太阳能电池及其组件的效率提高3~5%。在当前应用于大规模晶硅电池的生产工艺中,减反效果通过两个工艺技术实现,分别为表面制绒技术和SiN减反膜技术。其中,制绒技术利用光线的多次折返原理,提高电池对光辐照的吸收,可以使电池表面的反射率降低约3%;而减反膜技术利用光学衍射原理,使电池的反射率进一步大幅降低约15%,这对太阳能电池转换效率的提高起着至关重要的作用。尽管目前的PECVD SiN薄膜工艺已经以成熟工艺的姿态,大规模应用于生产工艺中,减反膜的优化设计尚有可观的潜力可以挖掘。
晶硅电池及其组件结构简述
晶硅电池组件的基本结构
基于晶体硅电池(包括单晶硅电池和多晶硅电池)的光伏组件由背面玻璃或背膜、背面EVA、电池片、正面EVA、正面玻璃组成,如图1所示。
图1 晶体硅电池组件的基本结构
其中,背面玻璃或背膜及EVA仅作保护之用,正面EVA兼具减反作用,正面玻璃镀上减反膜以后,可以进一步降低组件的反射率。
而电池片中,绒面和减反膜对反射率的降低起到关键的作用。
电池片减反膜的常规制备工艺
常规晶体硅电池片制造工艺中,均采用SiN薄膜作为减反膜。鉴于SiN薄膜具有优越的光学特性和电学特性,与Si衬底的折射率相匹配,同时与Si器件的制造工艺兼容,易于实现大规模的产业化制备,已经成为晶体硅太阳能电池制造工艺的不二选择。
Si材料的折射率为3.3~6.0,SiN薄膜的折射率为1.95~2.2,二者具有很好的匹配性。控制合理的折射率和薄膜厚度,可以使反射率降低约15%。现有成熟工艺中,一般选用折射率为2.0,厚度为85nm。
目前,均使用PECVD工艺方法制备SiN薄膜。该工艺方法利用SiH4和NH3气体在真空环境下,经射频电磁场激发的等离子体氛围中进行化学气相反应,生成SiN固体沉积到电池片表面,形成SiN薄膜。PECVD工艺为一种低温工艺,SiN薄膜的沉积温度一般为250℃~400℃,与电池制造的其他工艺相兼容。通过调整沉积过程的气氛压力、衬底温度、气体流量及其比例、电磁场功率等多种工艺条件,可以调节SiN薄膜的组分比例、致密性、膜层应力和折射率等薄膜特性,从而获得最优的镀膜参数。
减反膜系统的评价方法
使用光学薄膜实现的减反效果,均有一个最佳光谱范围。对晶体硅太阳能电池而言,其光电响应的有效光谱范围为350nm~1100nm,其量子效应的峰值处于~900nm,如图2所示。
图2 单晶硅太阳能电池光谱响应曲线
而对于太阳光而言,地面辐射一般采用AM1.5G标准,其辐照度峰值位于500nm,如图3所示。
图3 AM1.5G太阳光光谱曲线
因而,对于太阳能电池减反系统的评价,必须综合考虑电池的光谱响应和太阳光的光谱分布。一种有效地方法被称为加权积分法。其权重曲线如图4所示。
图4 太阳能电池对太阳光的光谱响应权重曲线
由图4可见,太阳能电池对太阳光的吸收转换能量主要集中于500nm~920nm之间,其峰值位于650nm~800nm,呈平顶态势。减反系统的设计所需要关注的光谱范围,首先在上述波段范围内,500nm以下及920nm以上,相对影响较小。
电池片减反膜系统的分析和优化
单层减反膜系统
目前应用于地面太阳能电池大规模生产工艺中的减反膜,几乎全部采用PECVD SiN薄膜。所使用的SiN薄膜折射率控制在2.0左右,厚度为80~85nm。上面已经提到,对于PECVD SiN镀膜工艺,改变工艺参数可以调整薄膜的折射率。图5、图6显示了几种不同折射率SiN薄膜的反射率曲线及其加权响应曲线。
图5 单层SiN减反膜反射率曲线
图6 单层SiN减反膜加权响应曲线
从图5可以观察到,较低的折射率对降低反射率有利。尽管在图6的加权响应曲线中,很难区分几种膜系的优劣,但是加权积分数可以显示相同的趋势,如表1所示。
表1 单层SiN减反膜系统光谱响应加权积分数
减反膜 n2.0x82nm n2.1x80nm n2.2x76nm 加权积分数 84.04 83.71 83.08 减反膜 ZnS/SiO SiN/SiO 加权积分数 86.83 86.16
图7 双层减反膜反射率曲线
图8 双层减反膜加权响应曲线
由图7、图8和表2所示,双层减反膜体系对
您可能关注的文档
- 井壁稳定问题__课件.pdf
- 井字梁结构设计中若干问题研究分析.doc
- 井盖的市场发展的研究报告2.doc
- 亚洲最大__大族激光打标机推介方案.doc
- 亚热带水库浮游植物群落结构季节演替及春季水华分析__以浙江汤浦水库为例.pdf
- 交叉口混合交通流元胞自动机模型及其仿真的研究.pdf
- 交叉持股的法经济学分析.doc
- 交流永磁同步电机结构和工作原理.doc
- 产业发展的资源环境效率的研究进展.pdf
- 产业结构调整_能源消费和经济增长关系的实证的研究.pdf
- 行动在即,共塑可持续时尚:中国时尚产业的可持续之路(2022)-WWD.pdf
- 新能源锂电池系列报告之九:硅基负极,锂电材料升级的必经之路.pdf
- 行业动态:中航电测推出员工持股计划,军工央企混改持续推进(202006).pdf
- 新能源汽车热管理行业专题报告:主被动协同助力行业发展(202206).pdf
- 眼科产业链为黄金赛道,市场空间广阔(202206).pdf
- 消费者旅游出行习惯及喜好研究.pdf
- 小红书·2021年隐形眼镜行业月报(202111).pdf
- 药品带量采购-国际集采规则及结果分析.pptx
- 消费电子行业动态点评: CES1,关注元宇宙和云游戏等新品(202201).pdf
- 眼镜行业深度报告:眼镜市场千亿规模,近视防控赛道加速崛起(202202).pdf
最近下载
- 关于集团对子公司绩效考核工作的思考与建议.pptx
- 国土调查类项目支出标准.docx VIP
- 读后续写动作描写六大微技能课件++2023届高考英语作文备考.pptx
- 2023年中考语文综合性学习6结束语(全国通用)(解析版).pdf VIP
- 新时代中小学教师职业行为十项准则学习知识讲解25页PPT.ppt VIP
- 河南郑州热力集团有限公司招聘笔试题库2024.pdf
- DB44T 1503-2014 家用电器碳足迹评价导则.docx
- 苯甲苯90000吨精馏塔设计说明.pdf
- 2024年03月苏州市相城区教育局2024年面向全区公办学校遴选局机关科室工作人员和教研员笔试历年高频考点试题附黑钻版答案与详解.docx VIP
- 2024年普通高中英语课程标准测试题.doc
文档评论(0)