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精密加工和超精密加工.ppt
第3章 精密加工和超精密加工 3.1 概述 3.1.1 精密、超精密加工的概念 超精密加工是指加工精度和表面质量达到极高程度的精密加工工艺。 过去的超精密加工在今天来说就是精密加工或一般加工,精密加工和超精密加工的界限将随着科学技术的进步而逐渐向前推移。 按国际上目前的加工水平,一般加工、精密加工和超精密加工可划分如下: 1、一般加工 一般加工指精度在1um左右,相当于在IT5-IT7级精度,表面粗糙度Ra值在0.2~0.8um的加工方法。如车、铣、刨、磨、铰等。适用于汽车、拖拉机制造等工业。 2、精密加工 精密加工指精度在0.1~0.01um,相当于IT5级和IT5级以上精度,表面粗糙度Ra值在0.1um以下的加工方法。金刚车、研磨、珩磨、超精研、砂带磨、镜面磨和冷压加工等。用于精密机床、精密测量仪器等。 3、超精密加工 超精密加工指精度在0.001um数量级,表面粗糙度Rz值在0.001um数量级的加工方法。加工中所使用设备的分辨率和重复定位精度应为0.01um数量级。 另外,现在经常提及的微细加工和超微细加工是指进行微小尺寸的加工,与一般尺寸加工有区别。 一般尺寸加工时,精度是用误差尺寸与所要求的加工尺寸之比来表示的;而在微细加工时,必须用尺寸的绝对值来表示。 微细加工与常规尺寸加工的区别: (1)加工精度的表示方法不同:一般尺度加工,加工精度常用相对精度表示,微细加工用绝对精度表示; (2)加工机理存在很大的差异:微细加工中加工单位急剧减小,必须考虑晶粒在加工中的作用; (3)加工特征明显不同 :一般加工以尺寸、形状、位置精度为特征,微细加工由于加工对象的微小型化,以分离或结合原子、分子为特征;特别是扫描隧道显微镜和原子力显微镜的出现,为实现单个原子作为加工加工单位创造了条件; (4)当构件缩小到一定尺寸范围时将出现尺度效应。如表现在:构件尺寸减小,材料内部缺陷减少,机械强度增加;微构件的抗拉强度、断裂强度、残余应力等与大构件不同,有些表征材料物理性能的物理量需重新定义。 3.1.2精密、超精密加工的意义与重要性 现代机械工业之所以要致力于提高加工精度,其主要的动因在于:提高产品的性能和质量, 提高其质量的稳定性与性能的可靠性,促进产品的小型化,增强零件的互换性,提高装配生产率并促进装配自动化。 例如,超精密加工使陀螺仪的精度提高了一个数量级,MX战略导弹装上这种高精度陀螺仪,其命中精度圆概率误差由5000m降低到50一150m;又如,据英国Rolls一Roycc公司的资料,若将飞机发动机转子叶片的加工精度由60μm提高到12μm,而加工表面粗糙度Ra值由0.5μm降低到0.2μm,则发动机的压缩效率将会有“戏剧性的改善”;再如,传动齿轮的齿形及齿距误差若能从目前的3一6μm降低到1μm,则单位齿轮箱重量所能传递的转矩将提高近一倍。 发动机的压缩效率:又叫压缩比,汽缸在下止点时的最大体积与汽缸在上止点时的最小体积之比。 上述事实表明,精密、超精密加工是现代制造技术的前沿,是国际竞争中取得成功的关键技术,精密、超精密加工技术水平对一个国家的经济、军事、科技等各领域的发展具有重大支持意术。是一个国家实力与能力的象征。 3.1.3 精密加工和超精密加工的工艺特点 1、以精密元件为加工对象。 2、高精度、高表面质量、高稳定性。 (1)材料本身的要求。 (2)要有严格的加工环境。 (3)设备本身精度要高,设备内部要有恒温措施。 (4)要合理安排热处理工艺。 3、精密测量。 4、常与微细加工结合在一起。 5、常和自动控制结合在一起。 6、常采用复合加工技术。 3.1.4 超精密加工的共性及其发展 1、超精密运动部件 2、超精密运动驱动与传递 3、超精密机床数控技术 4、超精密运动检测技术 5、超精密机床布局与整体技术 6、其他重要技术 3.2.2 精密磨削加工 磨削后使工件尺寸公差小于10μm,表面粗糙度Ra值小于0.1μm的磨削通常称为精密磨削。现代高精度磨削技术的发展,使磨削尺寸精度达到0.1一0.3μm,表面粗糙度几值达0.2-0.05μm。磨削表面变质层和残留应力均甚小,明显提高了加工零件的质量。 (5)精密磨削加工实例 l)圆柱面镜面磨削加工方法:磨削速度选v=25一35m/s,粗磨时fr=0.02一0.07 mm,精磨时fr=3一10μm;当用油石研、抛时,v=10~50m/min,材料的去除速度为0.1一lμm/min。 2)球面镜面磨削加工:球面镜面研、抛时要求研具保持在被加工表面的法向上,有两种保证方法一是通过研具1本身的自定位机构来达到;二是通过采用数控
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