传感器与检测技术实验讲义2版.doc

实验一 金属箔式与半导体式应变计的性能测试 一．实验目的： １．观察了解箔式应变片和半导体应变片的结构及粘贴方式。 ２．验证单臂、半桥、全桥的性能，比较各桥路间的输出关系。 ３．说明实际使用的应变电桥的性能和原理。 ４．了解温度对测试系统的影响，说明箔式应变片和半导体应变计的灵敏度和温度效应。 ５．通过实验对两种应变电路的特性有充分的了解。 二．实验所需部件： 直流稳压电源、应变式传感器实验模块、金属箔式应变计及温度补偿片、半导体式应变计、砝码、数字电压／频率表、应变加热（位于主机面板的温控单元下面）。 三．实验原理： 1. 箔式应变片性能——单臂电桥 本实验说明箔式应变片及直流电桥的原理和工作情况。应变片是最常用的测力传感元件。当用应变片测试时，应变片要牢固地粘贴在测试体表面，测件受力发生形变，应变片的敏感栅随同变形，其电阻值也随之发生相应的变化。通过测量电路，转换成电信号输出显示。电桥电路是最常用的非电量电测电路中的一种，当电桥平衡时，桥路对臂电阻乘积相等，电桥输出为零，在桥臂四个电阻R1、R2、R3、R4中，电阻的相对变化率分别为△R1/ R1、△R2/ R2、△R3/ R3、△R4/ R4 ，当使用一个应变片时，；当二个应变片组成差动状态工作，则有；用四个应变片组成二个差动对工作，且R1= R2= R3= R4=R，。 2. 箔式应变片三种桥路性能比较 已知单臂、半桥和全桥电路的∑R分别为△R/ R、△2R/ R、4△R/ R。根据戴维南定理可以得出测试电桥近似等于·E·∑·∑R，电桥灵敏度Ku=V/△R/R，于是对于单臂、半桥和全桥的电压灵敏度分别为1/4E、1/2E和E。由此可知，当E和电阻相对变化一定时，电桥的灵敏度与各桥臂阻值的大小无关 ３．金属箔式应变计的温度效应 温度变化引起应变片阻值发生变化的原因是应变片电阻丝的温度系数及电阻丝与测试中的膨胀系数不同。由此引起测试系统输出电压发生变化。 用补偿片法是应变电桥温度补偿方法中的一种，如图（1）所示。在电桥中，R1为工作片，R2为补偿片，R1＝R2。当温度变化时两应变片的电阻变化△R1与△R2符号相同，数量相等，桥路如原来是平衡的，则温度变化后R1*R4＝R2*R3，电桥仍满足平衡条件，无漂移电压输出，由于补偿片所贴位置与工作片成90°，所以只感受温度变化，而不感受悬臂梁的应变。 　　　图（1）　　　　　　　　　　　　　　图（2） ４．半导体应变片性能 由于材料的阻值，则, 当应变，灵敏度; 对于箔式应变片，K箔≈1＋2μ，主要是由形变引起。对于半导体应变计，K半≈（△ρ/ρ）/∑,主要由电阻率变化引起。由于半导体材料的“压阻效应”特别明显，可以反映出很微小的形变，所以K半要大于K箔，但是受温度影响大。半导体应变计主要是根据硅半导体材料的压阻效应制成，当半导体晶体受到作用力时，晶体除产生应变外，电阻率也会发生变化。与金属应变片相比，半导体应变计灵敏系数很高，可达100～200，但是在稳定性及重复性方面都不如金属箔式片。实际使用时都是采用全桥工作形式以达到相对稳定。 四．实验步骤： 图（3） １．首先差放调零，连接主机与应变式传感器实验模块之间的电源，差动放大器增益置于最大位置（顺时针方向旋到底），差动放大器“+”“—”输入端对地用实验线对地短路。输出端接数字电压表2V档。开启主机电源，用“调零”电位器调整差动放大器输出电压为零，然后关闭主机电源，拔掉实验线，调零后模块上的“增益、调零”电位器均不应再变动。 ２．观察贴于悬臂梁根部的应变计的位置与方向，按图（3）将所需实验部件连接成单臂电桥，图中R1、R2、R3分别为模块上的固定标准电阻，R为应变计（可任选上梁或下梁中的一个工作片），图中每两个节之间可理解为一根实验连接线，注意连接方式，勿使直流激励电源短路。 ３．确认接线无误后开启主机，并预热数分钟，使电路工作趋于稳定。调节模块电桥上的WD电位器，使系统输出为零。 ４．在双孔悬臂梁称重平台上依次放上砝码，每个砝码的重量为20g，每放一个砝码，记录一个输出电压值，并记入下表（1）： 重量(g) 电压(v) 表（1） 图（4） 图（5） ５．按图（4）将图（3）中的固定电阻R1换接金属箔式应变计组成半桥电路，按图（5）将图（3）中的固定电阻R2 、R3，换接金属箔式应变计组成全桥电路。 ６．重复3-4步骤，完成半桥系统与全桥系统测试实验，数据记入表（1）。记录重量——电压值，并填入下表。 重量(g) 半桥(V) 全桥(V) 表（2） ７．关掉电源，拆掉连线，按图（3）接成单臂应变电桥，再开启主机电源，调节“WD”电位器，使系统输出为零。 ８．开启“应变加热