便携式泰曼格林型干涉仪装调方法的研究.pdfVIP

第 卷第 期 应 用 光 学 ３２ ６ Ｖｏｌ．３２Ｎｏ．６ 　 　 　 年 月 ２０１１ １１ ＪｏｕｒｎａｌｏｆＡ ｌｉｅｄＯ ｔｉｃｓ Ｎｏｖ．２０１１ 　 　 ｐｐ 　 ｐ 文章编号： （ ） １００２２０８２２０１１０６１１７３０７ － － － 便携式泰曼格林型干涉仪装调方法研究 ， ， １２ １ １２ ， ， 申劭萌 马 军 何 煦 　 　 （ ， ； 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 吉林长春 １． １３００３３ ， ） 中国科学院研究生院 北京 ２． １０００３９ ： ， ， 摘 要 为满足光学系统对高精度检测的要求 依据一种新型便携式干涉仪的设计方案 研究了 　 。 ， ／ （ ， 装调方法 该型干涉仪基于改进的泰曼 格林光路结构 其设计测试精度达到 １０ Ｐ－Ｖ ＝ － λ λ ）， 、 、 、 、 。 ６３０ｎｍ 具有参考镜离轴 体积小巧 便携 精度较高 成本低及便于批量装备等新特点 针对 ， 该新型干涉仪的结构特点 研究了以两个互相垂直的光轴为基准对整体结构进行装调的新方 ， 。 ， 法 并用装调完善的干涉仪进行了实测试验和比对试验 试验结果表明 该新型干涉仪器对已 ／ （ ， ） ， ； 知面型精度为 １０Ｐ－Ｖ ＝６３０ｎｍ 的标准球面镜进行检测 其精度可达到 ０．０９ 在相同的 λ λ λ ， （ ， 测试条件下进行比对实验时 该新型干涉仪对普通标准球面镜的检测结果为 ０．０５３ ＲＭＳ ＝