微惯性技术解读.ppt

研究内容： SOI (Silicon-on-Insulator)技术材料： SOI技术材料的优点： 本课题研究意义： MEMS惯性加速度计的类型： 梳齿式电容微加速度计基本原理： 弹性梁结构设计： MEMS梳齿电容式加速度计结构设计： 测量电路设计： MEMS梳齿电容式惯性加速度计工艺： North University of China Key Laboratory of Instrumentation Science Dynamic Measurement 基于SOI技术的MEMS惯性加速度计 1、设计基于SOI技术的电容式微加速度计结构； 2、建立电容式加速度计结构系统模型和相应结构特性仿真分析； 3、给出硅膜悬空无衬底结构的电容式微加速度计器件制作加工工艺流程。 SOI指的是绝缘层上的硅，其结构可以是绝缘衬底加顶层单晶Si层的双层结构，也可以是以绝缘薄层为中间层的三层结构，该结构材料可使器件与衬底材料相隔离绝缘。 1、寄生PN效应小，结构器件层与衬底之间有绝缘层相隔离，减小或消除了器件中寄生PN结效应； 2、电子转移速度高，埋氧层的绝缘作用和隔离作用使整个器件的工作速度大大提高了； 3、功耗低，SOl器件中寄生电容小，使整个器件的漏电流减小了，同时静态和动态功耗也大大减少了； 4、抗辐射能力强，使辐射下产生的少数载流子数目相应的减少了三个数量级； 5、消除了闭锁效应，提高了电路的稳定性，便于器件与电路的兼容设计与制造。 硅微加速度计的稳定性和量程往往是相互矛盾的：量程设计高了，系统稳定性就相对变差了；而量程较低时，系统可能较稳定。这是因为，决定加速度计量程的参数也是影响系统稳定性的参数因素，并且互相制约。同时，这些参数还受到加速度计结构系统所在大环境的影响，所以针对提高器件速度、降低器件功耗、减小误差、减化制造加工工艺，减小器件尺寸等这些SOI技术的优点，对基于SOI技术的MEMS惯性加速度计系统结构的研究具有十分重要和关键的研究意义。 压阻式： 电容式： 隧道式： 谐振式： 热对流式： 压电式： 三明治式 跷跷板式（扭摆式） 梳齿式 电容式加速度计的电容结构从电学角度是以等效为一对串联在一起的电容，从而可得到差动电容信号，其中敏感质量块为串联电容的公共端。 当没有外界加速度输入时，敏感质量块处于静止状态，即敏感质量块在平衡位置。此时，中央动极板与两个固定极板间的间距分别为df1和df2，故静态电容分别为： 当有外界加速度a作用时，质量块受到外界加速度引起的惯性力而产生的位移为Δd，电容间隙相应产生变化，从而电容值的大小改变为： 此时，有ma=KΔd，m为敏感质量元件质量，K为梁的刚度，a为外界加速度载荷，Δd为敏感质量块在外载荷作用下所产生的位移。 设df1=df2，则加速度计的分辨率为： 弹性梁结构形状设计与选择的原则和依据： 1、依据检测和工作原理选择恰当的弹性梁形状和支撑结构。 2、依据结构尺寸要求选择合适的弹性梁支撑结构形式。 3、依据检测模态选择合适的支撑结构形式。 4、依据加工工艺能力和加工水平条件来选择合适的弹性梁支撑结构。 上图为U型折叠梁结构模型，梁长A1B1=AB=CD= C1D1=Lb，梁宽为Wb，结构梁厚度为h，折叠梁折叠部分的粱A1A和D1D很短，折叠部分梁(即短梁)的影响可以忽略。整个微加速度计结构的弹性梁在敏感方向的总刚度相当于两个U型折叠梁刚度的并联，因此，U型折叠梁的刚度为： 梳齿式微加速度计结构的固有频率为： 由此，可得至UMEMS微加速度计固有频率随弹性梁梁长和梁宽结构参数尺寸变化的曲线关系为： 增大梁的长度，减小梁的宽度，结构的谐振频率减小，但提高了器件的分辨率；减小梁的长度，增大梁的宽度，结构的谐振频率加大，稳定性提高了，但器件的分辨率和开环灵敏度降低了。 由上图可以看出，U型梁参数对微加速度计系统结构的性能起着十分重要的作用，随着弹性梁宽度的逐步增加，器件结构的谐振频率不断增大；而随着梁长度的不断增加，器件结构的谐振频率不断减少，U型梁的宽度和长度对微加速度计结构谐振频率的影响作用十分显著。 定齿偏置梳齿状电容式微加速度计结构，其中包括固定端(锚点)、含有阻尼孔的质量块、U型折叠梁、活动梳齿结构。 在1g加速度载荷作用下，器件在垂直于敏感方向的结构变形位移为1.66e-4μm，敏感方向的结构变形位移为5.782e-3μm。 梳齿数目变化与电容值关系： 梳齿间距变化与电容值关系： 上下极板电容： 振荡发生信号： 差动输出信